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小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)
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滑動式雙溫區(qū)PECVD系統(tǒng)
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1200℃等離子增強HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
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1100℃PE/HPCVD 旋轉(zhuǎn)管式爐 (配原位蒸發(fā)器, 4通道MFC和真空泵)
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2L三軸行星真空 攪拌機 （配真空泵和水冷機）
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80℃ 250mm輥寬加熱型電動軋機（可選壓力可顯示型）
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200℃電動變速熱軋機 （Ar氣體兼容，96*100mm）
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宇電儀表控制軟件
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自動粉料分配器
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實驗型漿料處理機
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雙爐體滑動PECVD系統(tǒng)＆循環(huán)手套箱
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200℃壓力可控型電動加熱輥軋機（可選壓力可顯示型）
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等離子磁控濺射鍍膜儀系列
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110℃雙溫雙控 加熱型軋機 （Ar環(huán)境下兼容，200*250mm）
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16通道氣氛管式搖擺爐
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1200℃三溫區(qū)九通道質(zhì)子混氣高真空管式CVD爐 （可選50-100mm石英管，真空1E-4 torr）
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1200℃三溫區(qū)四通道質(zhì)子混氣高真空管式CVD爐 （可選50-100mm石英管，真空1E-4 torr）
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帶有預(yù)熱系統(tǒng)的滑動PECVD
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1100℃真空箱式爐 （配7.6L腔室,直通法蘭）
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200℃數(shù)字壓力顯示熱軋機 （Ar氣體兼容，96*220mm）
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1200℃三通道混氣高真空管式CVD爐 （可選50-100mm石英管，真空1E-4 torr）
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真空加熱流延涂布機（250℃，250Wx400Lmm，配涂布刮刀）
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旋轉(zhuǎn)CVD管式爐系統(tǒng)
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1200℃三溫區(qū) 旋轉(zhuǎn)爐 (125mm內(nèi)徑)
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
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