| 設備名稱 | ? 1200°C二通道混氣高真空CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-4-III-9HV （2019.12.12—科晶實驗室審核） |
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| 產(chǎn)品提示 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 主要特點 | ? 高熔點物質能夠在低溫下合成 ? 不僅可以在基片上進行生長，還可以在粉體表面生長 ? 雙層殼體結構，便帶有風冷系統(tǒng)，使得殼體表面溫度小于55度 ? 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 ? 三個溫區(qū)，可以獨立控溫 |
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| 基本參數(shù) | 一、加熱爐 ? 溫度：1100℃（1200℃＜1h） ? 總溫區(qū)長度: 880mm（220 mm + 440 mm + 220 mm ） ? 升溫速率：≤10℃/min ? 三個精密溫度控制器分別控制三個溫區(qū) ? 恒溫精度：±1℃ ? 熱偶：K型熱偶 ? 電源：AC208-240 50/60Hz ? 功率：最大7KW
二、供氣系統(tǒng)
三、高真空機組
更多參數(shù)請聯(lián)系科晶銷售部 |
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| 加熱元件和溫控系統(tǒng) | ? 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命） ? 包含一款YD858P型溫度控制器 ? PID自動控溫系統(tǒng) ? 智能化50段可編程控制 ? 默認DB9 PC通信連接端口 ? 通過MET認證 ? 可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導出數(shù)據(jù)。 |
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| 爐體結構和爐管尺寸 | ? 采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng) ? 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） ? 高純石英管
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| 尺寸 | ? 加熱爐外形尺寸：1000 L x 430 W x 700 H mm ? 供氣系統(tǒng)外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm ? 高真空機組外形尺寸: 600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm |
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| 重量 | ? 加熱爐約45Kg ? 供氣系統(tǒng)約36Kg ? 真空機組約60Kg |
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| 認證 | ? 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。 |
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| 質保 | ? 一年質保期，終生維護 ? 特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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應用技術提示 | 1、供氣系統(tǒng)應用提示 ? 嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應關閉閥門。 ? 第一次使用，或長時間不用再次使用時，請分別點擊二個“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進行吹洗。 ? 流量計通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應無水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應在定貨時聲明。 ? 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設備損壞公司售后維修會收取相應的費用。 ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等） ? 氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時，操作者應站在閥口的側后方，動作要輕緩。 ? 氣瓶應放置在陰涼通風處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴禁將氣瓶和高溫設備放在一起。 ? 嚴禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。 ? 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。 2、加熱爐應用提示 ? 不能超溫使用加熱爐。 ? 升溫速度不可超過規(guī)定加熱速度，否則會造成加熱元件損壞。 ? 為了在管式爐內(nèi)獲得準確的溫度，在使用前需要校準溫度，請點擊這里了解如何使用 3、高真空機組應用提示 ? 分子泵關閉以后，必須等待分子泵渦輪停止后才能斷電。 ? 建議分子泵與腔體間安裝有閥門，一旦實驗腔體出現(xiàn)意外，可以直接關閉閥門保護分子泵。 ? 分子泵上顯示的真空度僅代表分子泵進氣口端的真空度。 |
警示 | 1、供氣系統(tǒng)注意事項 ? 嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應關閉閥門。 ? 不要放在不平或有震動的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設備不穩(wěn)而傾倒的危險。 ? 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進設備內(nèi)部，否則有使設備發(fā)生短路或火災的危險。 ? 不要放在容易濺上水的場所，水等進入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災、觸電事故。 ? 設備的控制電路部分要進行定期檢查（半年檢查一次），對線路進行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時應及時處理，否則會導致設備短路或發(fā)生火災的危險。 ? 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴禁將線頭或金屬物遺留在設備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災的危險。 2、加熱爐注意事項 ? 不要將裝有溶液的容器放在儀器上，防止造成儀器短路 ? 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa ? 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ? 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) ? 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ? 石英管的長時間使用溫度＜1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） 3、高真空機組注意事項 ? 使用前請仔細閱讀說明書，防止操作不當將導致儀器損壞。 ? 真空泵不可以抽腐蝕性或爆炸性氣體。 ? 真空泵不可以抽冷凝蒸氣。 ? 真空泵不可以抽液體。 ? 真空泵不可以抽粉塵。 ? 真空泵不可以抽高溫氣體。 ? 請不要在潛在的爆炸區(qū)域進行操作。 ? 為了保護環(huán)境和人體健康，請使用尾氣過濾器，以盡量減少排放污染物。 ? 為保護真空泵免受冷凝蒸氣或小顆粒的損壞，請將冷阱或微粒捕集器連接到泵的前級管上 |
相關可選 |
法蘭，法蘭結構可以根據(jù)實驗要求進行組裝。 |
可選購石英管堵，提高爐管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空 |
您可能需要在真空端部安裝一個手動擋板閥 |
可選購防腐型數(shù)顯真空表EQ-PCG-554 用于乙炔甲烷氫氣等其他氣體氛圍下的真空度測量 | |
根據(jù)實驗要求選擇國產(chǎn)和進口分子泵 |
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選配機械泵，維持工作區(qū)間的低壓環(huán)境 |
可選購MTS02-B控溫模塊，可用電腦設置和顯示溫度程序 | |
溫度校準套件 |
可選購歐陸型溫控儀表，恒溫精確度可以提升到±0.1℃ |
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