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回轉爐
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供氣系統(tǒng)
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恒壓系統(tǒng)
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PECVD系統(tǒng)
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1200℃小型PECVD 管式爐系統(tǒng)
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100℃變速電熱軋機 （軋輥寬100mm，AR氣體兼容）
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1500℃開啟式管式爐，帶真空法蘭和2或3英寸剛玉管
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12英寸近距離旋轉蒸發(fā)鍍膜爐
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回轉爐
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回轉爐
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1200℃下裝載升降真空爐（氣體冷卻，加熱區(qū)尺寸：Φ240*260mm）
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1400℃箱式爐（8L，爐腔尺寸：200*200*200mm）
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1200℃箱式爐（27L，爐腔尺寸：300*300*300mm）
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1500℃雙溫區(qū)管式爐
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1400℃箱式爐（18.8L，爐腔尺寸：250*300*250mm）
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電弧輔助可二次加料真空熔煉爐 (1200℃,Ф200 * 425mm)
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1750℃小型真空管式爐 (60mm管徑)
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1200℃真空密封坩堝移動管式爐(手動）
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50mL雙罐旋轉反應釜 (230℃,壓力范圍3-10MPa)
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1700℃小型高溫箱式爐 (1.7L,爐腔尺寸:120*120*120mm)
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1500℃小型管式爐（帶真空法蘭，可用于2或3英寸剛玉管）
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高通量4工位管式爐 （1200℃,80mm石英管）
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1200℃小型雙溫區(qū)開啟式管式爐（含樣品移動模塊）
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1200℃雙爐體（管徑80mm)滑動TCVD系統(tǒng)
皖公網安備 34012302000974號
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