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1200℃雙爐體(管徑80mm)滑動(dòng)TCVD系統(tǒng)
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快速加熱沉積、快速冷卻、獨(dú)立控溫
型號(hào):
OTF-1200X-80-DFSL(內(nèi)部名稱:雙爐體滑動(dòng)管式爐)
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-80-DFSL是由兩個(gè)管徑80mm開啟式管式爐組成,最高溫度1200℃,用于生長2D材料,左邊爐子固定用于升華(也可手動(dòng)滑動(dòng)),右邊爐子采用電動(dòng)方式滑動(dòng)爐子,可實(shí)現(xiàn)快速加熱沉積和快速冷卻,兩個(gè)加熱爐都有獨(dú)立控溫系統(tǒng),升華和沉積可以設(shè)置不同的溫度,可用于二維過渡金屬硫化物(TMDC)單層膜的制備。
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產(chǎn)品名稱型號(hào)

雙爐體滑動(dòng)管式爐 OTF-1200X-80-DFSL

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 采用雙爐體滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。

· 右邊加熱爐采用電動(dòng)滑軌

· 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。

· 爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維,最大程度的減少能量損失 

加熱爐系統(tǒng)(右邊)

· 電動(dòng)單溫區(qū) OTF-1200X

· 電壓:單相 AC208--240V 50/60Hz

· 最高溫度: 1200℃ (<30min)

· 額定溫度: 1100℃

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 加熱區(qū)長度400mm  

· 加熱爐最大功率:3KW

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合

· 熱電偶類型:K型熱電偶

· 滑動(dòng)距離400mm(可以根據(jù)客戶要求定制滑動(dòng)距離)

· 可電動(dòng)左右滑動(dòng),滑動(dòng)速度可調(diào)(調(diào)速范圍:14-65mm/s)

· 加熱爐滑動(dòng)到最左邊,按照升溫程序,到達(dá)一定溫度可自動(dòng)滑到最右邊

圖片1.png 圖片12.png

加熱爐系統(tǒng)(左邊)

· 固定三溫區(qū):OTF-1200X-Ⅲ-C

· 電壓:單相 AC208--240V 50/60Hz

· 最高溫度: 1200℃ (<30min)

· 額定溫度: 1100℃

· 推薦升溫速率:≤10℃/min

· 加熱區(qū)長度:150mm+150mm+150mm總長度150mm

· 加熱爐最大功率:3.6KW

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合

· 熱電偶類型:K型熱電偶

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溫控系統(tǒng)

· 包含一款518系列型溫度控制器(也可以選配歐陸儀表恒溫精度可達(dá)±0.1℃)

· PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

· 智能化30段可編程控制

· 默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口

· 控溫精度:±1

· 所有的電氣元件都通過UL或MET認(rèn)可,并可通過世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測(cè)試

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不銹鋼密封法蘭系統(tǒng)

· 一套Ф80不銹鋼水冷密封法蘭

· 法蘭和石英管采用,O型圈+壓環(huán)+O型圈,螺紋壓緊密封

· 左側(cè)法蘭裝有機(jī)械壓力表、針閥、G1/4進(jìn)氣口、預(yù)留Ф12水管接口


· 右側(cè)法蘭裝有針閥、寶塔嘴出氣口、預(yù)留Ф12水管接口和KF25抽氣口

圖片16.png 圖片17.png

石英管


· 高純石英管尺寸:

· 25 O.D x 19 I.D x 1800 L (mm)

· 50 O.D x 44 I.D x 1800 L (mm)

· 60 O.D x 55 I.D x 1800 L (mm)

· 80 O.D x 75 I.D x 1800 L (mm)

· 100 O.D x 95 I.D x 1800 L (mm)

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真空系統(tǒng)(選配)

· 配套機(jī)械泵,真空度可以達(dá)到10-2 ttor

· 配套分子泵,真空度可以達(dá)到10-5 ttor(選配)

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水冷設(shè)備(選配)

· 型號(hào):KJ-5000

· 工作電流1.4-2.1A

· 制冷量2361Btu/h

· 尺寸55×28×43cm(長×寬×高)

· 水箱容量:6L

· 水流速率:16L/min

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產(chǎn)品尺寸

· 爐門關(guān)閉2200*500*680mm(長*寬*高關(guān)閉   

· 爐門開啟2200*700*950mm(長*寬*高打開

圖片22.png 圖片23.png

重量

210kg

保質(zhì)期

1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件)






使用注意事項(xiàng)

· 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa;

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。

· 設(shè)備需在獨(dú)立供電網(wǎng)下工作,電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi),不可與中頻高頻等高磁場(chǎng)發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng),遠(yuǎn)離中頻設(shè)備,防止空間電磁輻射。

·如果同一供電回路存在中、高頻設(shè)備,或者大型感性負(fù)載,應(yīng)在供電回路加入適當(dāng)?shù)碾娍构駷V波,配置電容柜自動(dòng)補(bǔ)償,諧波檢測(cè)和治理,對(duì)設(shè)備進(jìn)行電磁隔離處理,否則可能導(dǎo)致加熱爐工作不穩(wěn)定甚至損壞!此類問題導(dǎo)致加熱爐故障或損壞不屬于保修范圍。

·設(shè)備請(qǐng)遠(yuǎn)離存在液體飛濺場(chǎng)所

·設(shè)備請(qǐng)遠(yuǎn)離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末

·保溫和加熱元件為損耗件,保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正?,F(xiàn)象,可使用修補(bǔ)劑修補(bǔ),加熱元件為損耗件,在電爐長時(shí)間使用后無法達(dá)到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進(jìn)行更換,

·該設(shè)備高精度溫控范圍為300-1000℃,低溫運(yùn)行會(huì)存在溫度振蕩,

·不建議500℃以上開啟爐膛


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