| 產(chǎn)品名稱 | · 1100℃雙管滑動快速加熱冷卻爐 |
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| 產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
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| 主要特點 | · 雙石英管：外管直徑100mm ，懸掛的內(nèi)管直徑80mm. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應。（見下圖） · 兩根爐管上安裝有真空密封法蘭，允許反應氣體在兩個管（10mm間距）之間流動，惰性氣體在管內(nèi)流動以進行冷卻。 · 搭載由多通道流量控制系統(tǒng)和真空泵共同組成的CVD系統(tǒng)。 · 爐子的底部安裝有一對滑軌，可使爐子從爐管的一側滑動到另一側，以實現(xiàn)快速加熱和快速冷卻。 · 包含一個止滑夾，用于固定爐子的位置。 · 最高溫度可達1100℃。 · 雙層殼體結構，并帶有風冷系統(tǒng)，可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命。 · 開門斷電，提高實驗安全性。 |
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| 基本參數(shù) | · 最高溫度: 1100℃（≤30min） 工作溫度: 1000℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件：摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓：220V · 可根據(jù)需求選擇單溫區(qū)或雙溫區(qū)兩種爐膛。（雙溫區(qū)見下圖） · 加熱爐額定功率：3KW（不包括CVD系統(tǒng)） · 加熱區(qū)：400mm（單溫區(qū)），200mm*2（雙溫區(qū)） |
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| 爐管及滑軌 | · 高純石英管80mm外徑x 1800mm長 · 高純石英管100mm外徑x 1400mm長 · 鍍鉻鋼制成的雙滑軌 |
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| 真空法蘭 | · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端，便于組裝。 |
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| 多通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng) | · 適用于低壓小流量，多種氣體單一/混合連續(xù)供氣系統(tǒng)。尤其方便多種氣體的切換使用，而不會造成大氣進入加熱管。 · 氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀，外形美觀、實用，操作簡便。 · 采用觸摸屏來控制氣體的流量，顯示流量準確，方便操作。 · 所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接，便于維修拆卸。 · 多通道質(zhì)子流量計系統(tǒng)參數(shù)： · 輸入電壓：AC 220V/50Hz單相 · 功率：23W
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| 真空系統(tǒng) | · 此設備可根據(jù)需求配置合適的真空泵組。 ·GZK-101低真空機組： ·工作電電壓：220V，50~60HZ ·功率：1KW ·系統(tǒng)極限真空度：1.0*10-1Pa ·抽氣速率：4.4L/ S
· 103G高真空機組：
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| 溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護 · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
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| 開門斷電 | · 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計 |
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| 質(zhì)保期 | · 一年保修，終身技術支持。 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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應用技術提示 | · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進入爐管的氣體流量需小于200sccm，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 · 降溫時請利用程序降溫，不建議直接按“STOP”鍵降溫，設備溫度未降到室溫前不要直接關掉設備電源，防止出現(xiàn)安全問題。
· 嚴禁氧氣和氫氣同時使用或混合使用，使用有毒有害，易燃易爆的氣體前請嚴格檢查氣路的氣密性，使用氫氣前排空管內(nèi)的氧氣。不用氫氣時，應關閉閥門。 · 第一次使用，或長時間不用再次使用時，請分別點擊二個“通道清洗”（清洗通道），將管路內(nèi)有可能存在的污染物或氣體進行吹洗。 · 流量計通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于316L不銹鋼) ,氟橡膠等為易腐蝕材料。通入的氣體應無水汽、低泄漏、需勤清洗、如果要使用腐蝕性氣體用戶應在定貨時聲明。 · 不得通氯化物、硫化物、氨氣等易腐蝕的氣體，否則容易損壞通氣管道，混氣罐等不銹鋼材質(zhì)的配件。由于通入腐蝕性氣體而造成的設備損壞公司售后維修會收取相應的費用。 · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向混氣系統(tǒng)內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥。減壓閥應采用調(diào)控范圍在0.02—0.25Mpa 的專用氣體減壓閥（YQY-6（氧）、 YQQ-9（氫）、YQE-03（乙炔）、YAr-04（氬氣）等） · 氫氣瓶必須使用專用的減壓器，開啟氣瓶時，操作者應站在閥口的側后方，動作要輕緩。 · 氣瓶應放置在陰涼通風處，避免陽光直曬，又能耐火的專門建筑物或室外，嚴禁將氣瓶和高溫設備放在一起。 · 嚴禁使用瓶口有油污的氧氣瓶。 · 每只氣瓶最低必須保留0.5 MPa的余壓。 |
警示 | · 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用，對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。 · 滑動加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做，請穿戴防護裝備，例如耐熱服和手套。 加熱時請勿觸摸管子表面。 · 如需高溫取樣，請務必穿戴好安全裝置.
· 不要放在不平或有震動的產(chǎn)所，否則容易引發(fā)設備不穩(wěn)而傾倒的危險。 · 不要將螺釘、墊片等金屬物掉進設備內(nèi)部，否則有使設備發(fā)生短路或火災的危險。 · 不要放在容易濺上水的場所，水等進入產(chǎn)品本體的話，可能引起火災、觸電事故。 · 設備的控制電路部分要進行定期檢查（半年檢查一次），對線路進行緊固，若發(fā)現(xiàn)有線路有絕緣層脫落、接線脫落時應及時處理，否則會導致設備短路或發(fā)生火災的危險。 · 必須由具有專業(yè)資格的人員才能更換零件，嚴禁將線頭或金屬物遺留在設備內(nèi)，否則有引發(fā)爆炸和發(fā)生火災的危險。 |
可選配件 | · 建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。（請點擊這里學習如何安裝減壓閥）。(圖1) · 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖2) · 可選購歐陸儀型溫控儀表，控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖3) · 可選購石英管堵，提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。（圖4） · 可選購石英舟盛放樣品。（圖5） · 可在本公司購買生長石墨烯的銅箔。（圖6）
圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六 |
PC控制(選配） | · 請在購買爐子前，準備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件，可在電腦上顯示和設定壓力和溫度程序，以達到遠程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐，如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。
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真空配件(選配） | · 真空可選配件包括真空泵，波紋管和手動擋板閥。
· 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標配數(shù)量外可進行額外訂購。
· 機械真空計（作為設備標配），范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表，測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復性及較短的響應時間外，該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導致的腔室爆炸風險。
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水冷機（選配） | · 可選購水冷機降低法蘭總成溫度，避免高溫密封硅膠圈融化。
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改造單管爐(選配） | · 可通過訂購額外的密封法蘭并將其安裝到內(nèi)管上，從而形成單管反應室： · 法蘭兩端分別有1/4''直通接頭供客戶插入測量傳感器（例如用于溫度校準的可插入熱電偶），帶有機械壓力表和KF25接頭。
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