| 名稱 | 1200℃小型三溫區(qū)開啟式管式爐OTF-1200X-III-C |
| 爐體結(jié)構(gòu) | ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)
·高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）
·可選購石英管堵及石英坩堝，可增加爐管內(nèi)潔凈度及真空度（圖三、四）
·設(shè)有開門斷電功能,提高實(shí)驗(yàn)安全性（圖五、六）
·石英爐管：外管直徑為 130 mm，內(nèi)管直徑為100mm,使用時(shí)把金屬箔附在內(nèi)管壁上用于CVD反應(yīng)
·雙管真空密封法蘭，反應(yīng)氣體通過兩個(gè)管（20mm空隙）流動并進(jìn)行反應(yīng)，強(qiáng)制對流空氣可以通過中心管進(jìn)行快速冷卻（點(diǎn)擊下列圖片查看詳情）（圖七）
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| 基本參數(shù) | 熱偶：K型熱偶 建議升溫速率：≤10℃/min
溫度：1100℃ （1200℃＜1h） 電源：AC220，50Hz 最大功率:7KW |
| 加熱區(qū) | 加熱區(qū)長度：900mm (三溫區(qū)：229mm+457mm+229mm) |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁(表面涂有氧化鋯涂層，可以極大程度延長使用壽命） |
| 法蘭 | ·采用鉸鏈?zhǔn)椒ㄌm和O形密封圈加上機(jī)械泵可使真空度達(dá)到10-2Torr
·法蘭1包含不銹鋼針形閥（點(diǎn)擊圖一查看訂購轉(zhuǎn)接頭）
·法蘭2包含kf5真空接口，方便連接真空泵
·法蘭采用水冷法蘭。當(dāng)工作溫度超過900°C時(shí)，需要使用冷卻水（圖二）
·可選：您可在我公司選購液相氣體發(fā)生器，可配合管式爐及CVD系統(tǒng)使用（圖三）
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| 爐管尺寸 | ·高純石英管尺寸：
·內(nèi)管尺寸：100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)
·外管尺寸：130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)
·使用時(shí)需放置管堵，點(diǎn)擊下圖查看詳情
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| 可選 | ·可在我公司選購石墨烯生長銅箔（圖一）
·可在我公司選購移動爐架放置設(shè)備（圖二）
·可在我公司選購質(zhì)子流量計(jì)、真空機(jī)組等，支撐設(shè)備的同時(shí)可向設(shè)備內(nèi)通入各種混合氣體（圖三）
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| 密封法蘭 | ·一對SS304真空法蘭與雙高溫硅O形環(huán)包括在內(nèi)
·兩個(gè)針閥已分別安裝在兩個(gè)法蘭上（圖一）
·一個(gè)真空壓力表安裝在一側(cè)法蘭（圖一）
·可選：您可以選購kf25真空口法蘭（圖二）
·可選：您可以訂購法蘭支架（圖三）
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| 溫控系統(tǒng) | ·包含一款YD858P型溫度控制器
·PID自動控溫系統(tǒng)
·智能化50段可編程控制
·控溫精度：±1℃
·三個(gè)溫區(qū)分別有三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制
·默認(rèn)DB9 PC通信連接端口
·可選購電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)
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| 外形尺寸 | 2100 L x 450W x 630 H mm |
| 凈重 | 約90Kg |
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 真空系統(tǒng) | ·通過機(jī)械泵可達(dá)到50mTorr（參考值，詳情請點(diǎn)擊）
·通過分子泵泵可達(dá)到10E-5 Torr（參考值，詳情請點(diǎn)擊）
·可選購一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染
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| 質(zhì)量認(rèn)證 | ·此產(chǎn)品已通過CE認(rèn)證 證書編號： M.2021.206.C67997 ·若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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| 使用注意事項(xiàng) | ·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa
·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會更加精確安全
·當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)
·進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
·石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃
·對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
| 應(yīng)用提示 |
·為了在管式爐內(nèi)獲得準(zhǔn)確的溫度，在使用前需要校準(zhǔn)溫度，請點(diǎn)擊這里了解如何使用 |
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