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1200℃小型雙溫區(qū)開啟式管式爐(含樣品移動(dòng)模塊)
關(guān)鍵字:
開啟式、退火處理、快速熱處理、HPCVD、晶體生長(zhǎng)
型號(hào):
OTF-1200X-S-II(內(nèi)部名稱:管式爐 OTF-1200X-S-II(含樣品移動(dòng)模塊))
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-S-II是一款通過CE認(rèn)證的小型雙溫區(qū)開啟式管式爐,其最高工作溫度可達(dá)1200℃,此款管式爐的爐管為高純石英管,其直徑為25mm或50mm。配有一套不銹鋼密封法蘭,右端法蘭連接樣品移動(dòng)平臺(tái),可自動(dòng)送入樣品,樣品可在真空狀態(tài)或氣氛保護(hù)狀態(tài)下進(jìn)行熱處理。管式爐擁有兩個(gè)加熱長(zhǎng)度為100mm的加熱區(qū),兩個(gè)溫區(qū)的最大恒溫梯度為200℃,若兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度程序,可得到100mm恒溫區(qū)。兩個(gè)溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū),都可設(shè)置50段升溫程序,控溫精度為±1℃。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱型號(hào)

管式爐 OTF-1200X-S-II(含樣品移動(dòng)模塊)

產(chǎn)品特點(diǎn)

· 高溫爐采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂油氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命

· 樣品移動(dòng)模塊有快速和慢速兩種工作方式

管式爐

· 電源:AC 110V  50HZ/60hz(標(biāo)配110V轉(zhuǎn)220V變壓器)

· 功率:1.2KW

· 最高溫度:1200℃(<1h

· 連續(xù)工作溫度:1100

· 推薦升溫速率:≤10/min

· 熱電偶:K

· 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁

· 加熱區(qū)長(zhǎng)度:200mm100+100

· 爐管尺寸:φ50*600mm

· 兩個(gè)溫區(qū)分別有兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制

· 包含兩個(gè)YD858P型溫度控制器

· PID自動(dòng)控溫系統(tǒng)

· 智能化50段可編程控制

· 控溫精度:±1℃

· 默認(rèn)DB9 PC通信連接端口

· 通過MET認(rèn)證

· 可選購(gòu)電腦溫度控制軟件(用于YD858P系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)

圖片24.png圖片25.png


法蘭

左端法蘭:

· 兩個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用,并分別通過一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷。

· 安裝了量程為-0.1-0.15MPa的機(jī)械壓力表用于觀察爐管內(nèi)的壓力

· 法蘭內(nèi)部有一個(gè)φ6.35的鎧裝口,用于安裝外徑φ6.35*內(nèi)徑φ4*300mm的進(jìn)氣管,進(jìn)氣管通過管堵到達(dá)爐膛中間位置

圖片26.png 圖片27.png 圖片28.png


右端法蘭:

· 直徑φ60mm的不銹鋼法蘭,內(nèi)法蘭固定在法蘭支架上,通過螺絲連接內(nèi)外法蘭。

· 外法蘭上含有一個(gè)KF16的接口,可用于安裝數(shù)顯真空計(jì);一個(gè)φ8mm寶塔氣嘴的出氣口,并通過一個(gè)通徑3mm的球閥控制出氣的通斷;一個(gè)KF25的接口用于抽真空。

· 通過KF40卡箍快速連接外法蘭與樣品移動(dòng)平臺(tái)

圖片29.png

樣品移動(dòng)模塊

· 采用步進(jìn)電機(jī)控制平臺(tái)的移動(dòng),移動(dòng)距離和速度均可在觸摸屏中設(shè)置

· 電源:220V  50/60HZ

· 功率:50W

· 樣品臺(tái)有兩種工作方式:快速移動(dòng)和慢速移動(dòng)

· 快速移動(dòng)速度:400mm/min

· 慢速移動(dòng)速度:0.1-300mm/min(可調(diào))(可根據(jù)客戶要求定制不同的移動(dòng)速度)

· 移動(dòng)距離:1-300mm(可調(diào))

· 移動(dòng)模塊接口尺寸:KF40

· 樣品臺(tái)尺寸:30*30*10/φ8*185mm

圖片30.png 圖片31.png

真空系統(tǒng)(選配)

· 型號(hào):VRD-16

· 抽氣速率:4.4L/S

· 電機(jī)功率:550W

· 極限壓強(qiáng):4×10-1Pa(不帶負(fù)載)

· 實(shí)際壓強(qiáng):≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘)

· 為了得到更高的真空度,可以選購(gòu)我公司的其他高真空系統(tǒng)

圖片1.png

· 可選購(gòu)一個(gè)冷真空阱,以避免真空泵造成污染

圖片33.png


外形尺寸

主機(jī):1450長(zhǎng)*400寬*400mm高

控制箱:360長(zhǎng)*350寬*200mm高

圖片34.png

重量

38KG

                                               使用注意事項(xiàng)

· 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對(duì)氣壓);

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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