| 特點 | · 與傳統(tǒng)CVD相比，處理溫度更低 · 管式爐爐膛膛材料采用高純氧化鋁纖維，能最大程度減少能量損失 · 是一款質(zhì)量可靠、價格合理的緊湊型PECVD系統(tǒng) |
| 基本參數(shù) | · 工作溫度：1200℃（＜0.5小時） · 連續(xù)工作溫度：1100℃ · 建議加熱速率：≦10℃/min · 加熱區(qū)長度：400mm · 加熱元件：電阻絲 · 電壓：AC 220V 50Hz · 功率：3KW · 熱電偶：K型 |
| 爐管 | · 材質(zhì)：高純石英管 · 尺寸：φ50*1400mm · 可選：φ60*1400mm Φ80*1400mm Φ100*1400mm
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| 法蘭 | · 標配一套不銹鋼真空法蘭 · 進氣端法蘭上安裝了一個機械壓力表用于觀察爐管內(nèi)的壓力，壓力表范圍-0.1-0.15MPa；一個φ6.35的卡套接頭作為進氣口使用，并通過一個不銹鋼針閥控制進氣的通斷 · 出氣端法蘭包含一個φ8mm寶塔氣嘴的出氣口，并通過一個不銹鋼針閥控制出氣的通斷。一個KF25接口為抽真空接口，用于連接真空系統(tǒng)。一個KF16的接口用于連接電阻真空計。
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| 真空系統(tǒng) | · 電源：AC220V/50Hz · 功率：0.55KW · 極限真空度：5.0*10-1Pa（無負載） · 抽氣速率：3L/s · 抽氣口：KF25接口 · 可選配真空度更高的系統(tǒng)
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| 供氣系統(tǒng) | · 型號：GSL-4Z-LCD · 質(zhì)量流量控制器：100SCCM、200SCCM、200SCCM、500SCCM · 量程可以選配 · 精度：±1.5%FS · 最大壓力：0.3MPa · 內(nèi)部連接1/4英寸不銹鋼和聚四氟管 · 內(nèi)置不銹鋼混氣罐
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| 射頻電源 | · 功率輸出范圍：0-500W · 功率穩(wěn)定度：≤±5W · 射頻頻率：13.56MHZ · 自動匹配 · 噪音：≤50dB · 冷卻方式：風(fēng)冷
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| 外形尺寸 | 1800長*700寬*1150mm高 |
| 重量 | 約120KG |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終生維護 · 特別提示： 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項 | · 石英管內(nèi)的氣壓不可高于0.02MPa； · 氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全； · 對于樣品加熱的實驗，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開出氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題，本公司概不負責(zé)。 |
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