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300mm寬平板擠壓涂布機(jī)
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磁控濺射蒸發(fā)鍍膜儀
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磷酸鈦鋁鋰固體電解質(zhì)片(Li1.3Al0.3Ti1.7P3O12)
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1200℃小型四溫區(qū)開啟式管式爐
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200℃電動(dòng)軋輥/平板熱軋機(jī) (寬200mm,可在氬氣環(huán)境中使用)
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全自動(dòng)雙爐滑動(dòng)CVD系統(tǒng)(1200℃Max)
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1200℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)管式氫氣爐 (異形爐管容積:Φ127*280mm)
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1600℃雙通道超聲霧化CVD管式爐
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1700℃高溫取樣箱式爐(8L,爐腔尺寸:200*200*200mm)
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小型真空箱式爐 (6L,1050℃,配溫度控制器)
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1200℃滑動(dòng)管式爐(管徑130mm)
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可連續(xù)型全自動(dòng)氣淬管式爐
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小型分體式磁控濺射儀(50mm靶頭,可選直流或射頻電源,手套箱內(nèi)可用)
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STX-600系列金剛石線切割機(jī)
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1100℃立式坩堝爐 (加熱腔 φ120*200mm)
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1500℃三溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐(配自動(dòng)進(jìn)料和接收系統(tǒng))
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PECVD系統(tǒng)
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5T精密電動(dòng)無油平板熱壓機(jī) (500oC,135mmx135mm)
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立式管式爐
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1700℃高溫箱式爐帶觀察窗(8L,爐腔尺寸:200*200*200mm)
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1600℃超聲霧化CVD管式爐
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固態(tài)電池原位壓力變化測試系統(tǒng)
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手動(dòng)壓力機(jī)
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1500℃雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐(配60mm氧化鋁管)