| 名稱(chēng)型號(hào) | 全自動(dòng)雙爐滑動(dòng)CVD系統(tǒng)（1200℃ Max） OTF-1200X-S2-50SL-CV |
| 產(chǎn)品特點(diǎn) | ·采用雙爐體滑動(dòng)結(jié)構(gòu)。 ·采用觸控一體機(jī)控制三個(gè)模塊系統(tǒng)。 ·可存儲(chǔ)實(shí)驗(yàn)參數(shù)生成工藝曲線(xiàn)，可調(diào)取工藝曲線(xiàn)一鍵運(yùn)行設(shè)備。 ·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。 ·爐膛采用高純多晶氧化鋁纖維，最大程度的減少能量損失。
|
| 加熱爐系統(tǒng) | ·電壓：?jiǎn)蜗?AC220V 50/60Hz ·最高溫度: 1200℃ (<30min) ·額定溫度: 1100℃ ·推薦升溫速率：≤10℃/min ·加熱區(qū)長(zhǎng)度200mm ·兩臺(tái)加熱爐最大功率：2.4KW ·高純石英管Ф50*1500mm ·設(shè)備總功率4KW ·加熱爐是手動(dòng)滑動(dòng)，可以選配電動(dòng)（一臺(tái)爐子固定，一臺(tái)爐子滑動(dòng)）
|
| 溫控系統(tǒng) | · 包含一款518系列型溫度控制器 · PID自動(dòng)控溫系統(tǒng) · 智能化30段可編程控制 · 默認(rèn)DB9 PC通訊連接端口 · 控溫精度：±1℃ 所有的電氣元件都通過(guò)UL或MET認(rèn)可，并可通過(guò)世界范圍內(nèi)的其他相關(guān)安全測(cè)試
|
| 不銹鋼密封法蘭系統(tǒng) | · 一套Ф50不銹鋼密封法蘭 · 法蘭和石英管采用，O型圈+壓環(huán)+O型圈，螺紋壓緊密封 · 左側(cè)法蘭裝有機(jī)械壓力表、針閥、G1/4進(jìn)氣口、機(jī)械泄壓閥（壓力超過(guò)0.02MPa自動(dòng)泄壓） · 右法蘭裝有壓力傳感器、電磁泄壓閥，KF25抽氣口
|
| 供氣系統(tǒng) | ·四通道質(zhì)子流量控制系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)氣體流量精確控制（±0.02%） ·流量范圍: 一路0-100SCCM 二路0-200SCCM 三路0-200SCCM 四路0-500SCCM ·氣體進(jìn)出口配件：6.35mm的聚四氟管或不銹鋼管； ·電磁閥控制氣體進(jìn)出 ·可以通過(guò)觸控一體機(jī)進(jìn)行流量設(shè)置 |
| 真空系統(tǒng) | · 配套機(jī)械泵，真空度可以達(dá)到10-2 ttor · 配套分子泵，真空度可以達(dá)到10-5 ttor（選配）
|
| 軟件控制系統(tǒng) | 1.通過(guò)觸控一體機(jī)可以手動(dòng)和自動(dòng)控制加熱爐系統(tǒng)，供氣系統(tǒng)，真空系統(tǒng) 2.預(yù)設(shè)工藝自動(dòng)控制流程步驟如下圖
3.加熱爐溫度，管內(nèi)真空，進(jìn)氣流量，這些數(shù)據(jù)可以實(shí)時(shí)記錄。如下圖
4.軟件有工藝曲線(xiàn)自動(dòng)生成功能，把加熱爐溫度，真空度，進(jìn)氣流量等參數(shù)進(jìn)行存儲(chǔ)生成工藝流程，最大可以存儲(chǔ)100條工藝流程，也可以調(diào)出工藝流程一鍵自動(dòng)運(yùn)行設(shè)備。
5.具有遠(yuǎn)程監(jiān)控和控制設(shè)備的功能。 6. 軟件具有可擴(kuò)展型，可針對(duì)CVD系統(tǒng)進(jìn)行硬件擴(kuò)展，擴(kuò)展范圍包括我公司所有類(lèi)型CVD硬件設(shè)備
|
| 產(chǎn)品尺寸 | · 外形尺寸：2100*750*1220mm（長(zhǎng)*寬*高 ）
|
| 重量 | 約210kg |
| 保質(zhì)期 | 1年（不包含爐管，氟膠O型圈和加熱元件等損耗件） |
使用注意事項(xiàng) | · 石英管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全， 建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓 力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） · 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶(hù)自行做好 相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 · 設(shè)備需在獨(dú)立供電網(wǎng)下工作，電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi)，不可與中頻高頻等高磁場(chǎng)發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng)，遠(yuǎn)離中頻 設(shè)備，防止空間電磁輻射。 ·如果同一供電回路存在中、高頻設(shè)備，或者大型感性負(fù)載，應(yīng)在供電回路加入適當(dāng)?shù)碾娍构駷V波，配置電容柜自動(dòng)補(bǔ)償， 諧波檢測(cè)和治理，對(duì)設(shè)備進(jìn)行電磁隔離處理，否則可能導(dǎo)致加熱爐工作不穩(wěn)定甚至損壞！此類(lèi)問(wèn)題導(dǎo)致加熱爐故障或損壞不 屬于保修范圍。 ·設(shè)備請(qǐng)遠(yuǎn)離存在液體飛濺場(chǎng)所 ·設(shè)備請(qǐng)遠(yuǎn)離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末 ·保溫和加熱元件為損耗件，保溫材料在燒結(jié)過(guò)程中出現(xiàn)裂紋為正常現(xiàn)象，可使用修補(bǔ)劑修補(bǔ)，加熱元件為損耗件，在電爐長(zhǎng) 時(shí)間使用后無(wú)法達(dá)到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進(jìn)行更換， ·該設(shè)備高精度溫控范圍為300-1000℃，低溫運(yùn)行會(huì)存在溫度振蕩， ·不建議500℃以上開(kāi)啟爐膛 |
Copyright © 2019 合肥科晶材料技術(shù)有限公司 版權(quán)所有 皖I(lǐng)CP備09007391號(hào)-1 
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號(hào)
查看誠(chéng)信檔案
