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1200℃小型箱式爐(4.2L,爐腔尺寸:150*180*155mm)
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800℃防腐型回轉(zhuǎn)爐(配50mm雙層爐管,最大3bar壓力)
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小型紫外臭氧清洗機(jī)
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1500℃雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐(配60mm氧化鋁管)
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1100℃三溫區(qū)粉末CVD回轉(zhuǎn)爐(配381mm內(nèi)徑石英管)
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常用尺寸移動(dòng)爐架
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1200℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD爐(帶自動(dòng)進(jìn)料和接收系統(tǒng))
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壓力可控電動(dòng)扣式電池封口機(jī)
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100mm寬陶瓷涂覆輥電動(dòng)軋機(jī)(可選壓力可顯示型)
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1200℃等離子增強(qiáng)小型PECVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)
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1200℃開啟式管式爐(17英寸加熱區(qū),帶密封法蘭和可選尺寸石英管)
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0.7L等離子清洗機(jī) (配真空計(jì),3"Dx 6.5"L石英腔室,13.56Mhz)
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1200℃晶體生長(zhǎng)爐
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1200℃雙溫區(qū)旋轉(zhuǎn)CVD爐(100mm)
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1700℃小型精確控溫 蒸發(fā)鍍膜儀
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臺(tái)式半自動(dòng)絲網(wǎng)印刷薄膜涂布機(jī)(涂布面積250*350mm,配真空吸附工作臺(tái))
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800℃氫氣管式爐(5英寸不銹鋼管,氫氣報(bào)警系統(tǒng))
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100T電動(dòng)冷等靜壓機(jī)(內(nèi)徑可選50/60/80,最大壓強(qiáng)500Mpa))
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1100℃Φ50管式高壓爐
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三溫區(qū)1500℃ PECVD系統(tǒng)
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1100℃三溫區(qū)高壓高真空管式爐
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1200℃小型開啟式管式爐,帶可插入式溫度校準(zhǔn)器和真空系統(tǒng)
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4工位滾筒球磨機(jī)
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1200℃微型開啟式管式爐 (200mm加熱區(qū),帶密封法蘭和 可選尺寸石英管)