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小型紫外臭氧清洗機(jī)
型號(hào):
PCE-44
產(chǎn)品概述:
PCE-44是一款小型紫外臭氧清洗機(jī),可用于清洗各種單晶基片,以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤(rùn)濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無(wú)酸、干燥對(duì)材料無(wú)損傷的原子級(jí)別的清洗手段,特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長(zhǎng)的光:185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵(特別是碳碳鍵)。所以這兩種波長(zhǎng)的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱

小型紫外臭氧清洗機(jī)-PCE-44 (2019.12.2—科晶實(shí)驗(yàn)室審核)

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示  2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備  3、科晶實(shí)驗(yàn)室邀請(qǐng)?zhí)崾?/strong>  4、配件妥善保管提示

設(shè)備特點(diǎn)

體積小,重量輕。

去除分子級(jí)別的污染物。

·紫外光固化粘合劑。

·紫外光催化。

·氧化PDMS。

·表面消毒。

·刻蝕。

·清洗MEMS 器件。

·清洗各種基片,如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片。

·僅室內(nèi)使用; 海拔高度在1695米以內(nèi)。

·溫度范圍5-40℃。

·最大相對(duì)濕度80%,最高30.5℃,30.5℃線性降至50%相對(duì)濕度。

·主電源波動(dòng)不超過(guò)標(biāo)稱電壓的10%。

·污染等級(jí)2; 臭氧水平(環(huán)境)測(cè)量<45 ppb。


圖1.gif  圖片1.png  圖片2.png

相關(guān)視頻

清洗機(jī).png


         操作視頻

基本參數(shù)

電源:220V 50/60HZ

總功率:40W

照射時(shí)間設(shè)定0-60min



更多參數(shù)請(qǐng)聯(lián)系科晶銷(xiāo)售部

機(jī)體結(jié)構(gòu)

腔體:·抽拉盒尺寸: 140mm*132mm*20mm

      ·標(biāo)配高純石英片用于盛放樣品,避免污染


圖片3.png   


紫外燈:UV燈管

·功率:30W

·發(fā)出光的波長(zhǎng):波長(zhǎng)254nm+185nm

·使用壽命:6000h小時(shí)

·照射區(qū)域:100 x 100 mm

·光照強(qiáng)度:4.6 mw/cm2


圖片4.png

外形尺寸

圖片3.png


240mm*200mm*165mm

凈重

4KG

認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。


圖片5.png

質(zhì)保期

一年保修,終身技術(shù)支持。


特別提示:

1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

應(yīng)用技術(shù)提示

1、應(yīng)避免在高溫、多濕、多塵、腐蝕氣體、酸堿性等環(huán)境中使用。

2、臭氧是具有刺激性及氧化性的氣體,對(duì)身體有害,要在通風(fēng)柜或通風(fēng)環(huán)境中使用。

3、石英管隨時(shí)間推移,內(nèi)外面會(huì)吸附污塵,引起紫外線透過(guò)率下降,需定期進(jìn)行清洗。

警示

1、嚴(yán)禁直接用眼直接看點(diǎn)亮中的UV管。否則會(huì)引起對(duì)眼的傷害。

2、輸入電源需使用規(guī)格內(nèi)電壓,過(guò)高或過(guò)低將會(huì)影響燈管的正常燃點(diǎn)和壽命。

3、如需更換燈管,需切斷電源,手拿燈管時(shí)應(yīng)帶好棉手套。(需專業(yè)人員進(jìn)行更換)

4、時(shí)間定時(shí)器不可逆轉(zhuǎn),強(qiáng)行逆轉(zhuǎn)會(huì)損壞設(shè)備。

可選配

為保證臭氧能排出室外可選配通風(fēng)柜


圖片6.png

相關(guān)產(chǎn)品
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