設(shè)備名稱型號 | 小型液體汽化系統(tǒng) (溫度和壓力可控, 適用于CVD和DLCVD)- LVD-F1 |
產(chǎn)品特點(diǎn) | · 由數(shù)字液體泵控制液體流量,最大流量為10ml/min · 一次不銹鋼罐加熱最高溫度500℃ · 二次加熱帶加熱最高溫度為200℃ · 用于材料研究中CVD方法生長納米線和薄膜的合適設(shè)備 |
基本參數(shù) | · 電源:208-240VAC,單相50/60HZ · 功率:2.2KW |
液體流量控制系統(tǒng) | · 前面板上的一個調(diào)速旋鈕用于調(diào)節(jié)液體的流量大小,LED顯示屏上顯示進(jìn)液速度。注意:顯示屏上的數(shù)值是數(shù)字泵的轉(zhuǎn)速不是流量值,請對照換算表換算成流量 · 精確度:±0.5% F.S · 流量:0-10ml/min可調(diào) · 最小流量:0.1ml/min · 設(shè)備背面其中一個φ6.35的卡套接頭為進(jìn)液口,將吸液管放置在盛有溶液的容器中,蠕動泵可自動抽取液體。 |
氣體流量控制 | · 氣體流速通過浮子流量計控制,流量計量程:50-500ml/min · 安裝了一個壓力表,可以觀察氣液混合罐中的氣體壓強(qiáng),壓力表量程:-0.1-0.15MPa · 一個不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷,設(shè)備背面其中一個φ6.35的卡套接頭為進(jìn)氣口,通過四氟管與氣瓶相連 |
加熱系統(tǒng) | · 系統(tǒng)中含有兩個加熱部分,流體和氣體會在一個316不銹鋼罐中加熱,最高溫度達(dá)到550度,此罐已經(jīng)安裝在殼體中,此溫度由溫控儀表1控制,測溫?zé)崤紴镵型 · 從混氣罐到出氣口之間的蒸汽輸出管道為不銹鋼材質(zhì)的鋼管,加熱管最高溫度能達(dá)到200度,此溫度由溫控儀表2控制,測溫傳感器為PT100 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) · 控溫精度:±10℃ |
設(shè)備外形尺寸 | 340mm(L)*350mm(W)*600mm(H) |
重量 | 約18KG |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含密封圈等易損耗件) |
注意事項(xiàng) | · 設(shè)備使用時,應(yīng)先加熱。在一次加熱管與二次加熱管溫度達(dá)到要求時再打開蠕動泵通入液體 · 在實(shí)際使用過程中,根據(jù)所需調(diào)節(jié)流量的大小,過大的流量需要匹配更大的進(jìn)氣量,且如果氣壓過大,水流量過小也無法產(chǎn)生均勻氣體,反之進(jìn)水量過大,氣壓過小,可能會伴有水滴產(chǎn)生,影響實(shí)際使用效果。 · 連接出氣口與需連接的設(shè)備時,應(yīng)注意連接管越短越好,在盡可能的前提下,縮短連接管的長度,過長的連接管可能會導(dǎo)致冷凝的現(xiàn)象,影響實(shí)際使用效果。 |
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