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1100℃管式爐(過渡金屬硫族化合物二維CVD層固體前驅(qū)體升華劑研究)
關(guān)鍵字:
單溫區(qū)、預加熱、真空
型號:
OTF-1200X-4-NW
產(chǎn)品概述:
OTF-1200X-4-NW是一種緊湊型CVD爐,專為生長各種納米線而設(shè)計,基片最大3英寸. 在法蘭的左側(cè)裝有一個預熱裝置,可對輸入的氣體、液體、固體進行預加熱,然后進入 CVD 爐進行納米線的生長, 設(shè)備搭配可滑動的樣品架使操作更為簡單.這種系統(tǒng)結(jié)構(gòu)適合于在3“直徑的襯底上生長寬范圍的過渡金屬二鹵化物(如MoSe2、MoS2…)和寬禁帶半導體(如h-BN)層。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱

·開啟式納米線生長CVD爐--OTF-1200X-4-NW


產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備    3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span>    4、配件妥善保管提示


視頻

 OTF-1200X-4-NW 1.jpg

         儀表操作視頻

產(chǎn)品特點

OTF-1200X-100單區(qū)管式爐:

·采用ABB電器元件

·右側(cè)可滑動支架的法蘭,方便操作

·采用雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風冷系統(tǒng)

·右側(cè)水冷法蘭可滑動,便于樣品裝載

·加熱器與爐子之間的左側(cè)水冷法蘭能夠更好的密封

·爐膛材料采用高純氧化鋁纖維,能很大程度減少能量損失提高加熱效率和增加爐膛使用壽命

·左側(cè)的預熱系統(tǒng)可對輸入的氣體、液體、固體或混合物進行預加熱,然后通入CVD爐中。

·預熱裝置的最高工作溫度:600℃

·左側(cè)法蘭作為氣體通道的同時起到密封作用(詳細結(jié)構(gòu)請看下圖)

 OTF-1200X-4-NW 2.jpg OTF-1200X-4-NW 3.jpg    

         右側(cè)活動法蘭                        結(jié)構(gòu)示意圖


特別推薦:視頻會議產(chǎn)品展示(請點擊此鏈接)


基本參數(shù)

加熱爐:

·最高溫度: 1100℃(≤30min)  工作溫度: 1000℃

·推薦升溫速率:≤10℃/min

·加熱區(qū):440 mm

·熱偶:K型熱偶  加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金

·電壓:220V, 額定功率:4KW


預熱裝置:

·連續(xù)工作溫度: 0~300°C

·最快升溫和降溫速度: 10°C/min

·加熱區(qū):150 mm

更多參數(shù)請聯(lián)系我們


真空和密封法蘭

CVD爐: 

①右法蘭:

·水冷可避免密封圈融化

·KF25真空快接更加方便(可與真空泵、波紋管、真空閥等連接)

·滑動使操作更簡單:樣品可快速的放入和取出

·一個石英樣品支架 ( 3英寸 ):與石英擋板滑動法蘭連成一體


②左法蘭 (在CVD 爐和小加熱器之間):裝有4個 1/4英寸卡套連結(jié)的通氣管:

·法蘭上有兩個獨立 1/4英寸接口,可單獨將任何氣體通入CVD爐

·其中一路通過1/4英寸接口將預熱氣體通入CVD爐

·另外一路通過1/4英寸口將不加熱的氣體通入CVD爐(在 CVD 爐內(nèi), 通過“T”型結(jié)構(gòu)與加熱氣體匯合。)


爐體結(jié)構(gòu)&溫控

·CVD爐體加熱和前驅(qū)體(單獨控溫):

·具有PID/自整定功能和50段可編程的數(shù)字控制器

·熱電偶:K型熱電偶,通過右側(cè)法蘭進料,控制爐溫。

·控溫精度:+/-1°C

 OTF-1200X-4-NW 4.jpg


真空度

·機械泵:10^-2 torr

·分子泵:10^-5 torr


產(chǎn)品尺寸

·1200(L)X450(W)X600(H)mm

·重量約:110kg


認證

·此產(chǎn)品已通過CE認證

  證書編號: M.2021.206.C67997

·若客戶出認證費用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認證或CAS認證

 OTF-1200X-4-NW 12.png

質(zhì)保期

·一年保修,終身技術(shù)支持。

·特別提示:

   1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

   2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

點擊查看售后服務(wù)承諾書。


產(chǎn)品在線展示

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點擊圖片預約

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應用技術(shù)提示

·購買前請聯(lián)系我們,確定進出氣口以及閥門種類

·由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

·當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊并同時保護爐內(nèi)溫場。

·石英管的長時間使用溫度<1100℃

·設(shè)備使用過程兩邊添加管堵,保證恒溫區(qū)和法蘭密封性

·為了獲得更高的潔凈度和真空度,請選用石英管

警示

·不要將裝有溶液的容器放在儀器上,防止造成儀器短路

·如需高溫取樣,請務(wù)必穿戴好安全裝置

·爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

·對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


可選相關(guān)設(shè)備

手動擋板閥、水冷機、防腐真空計、真空系統(tǒng)、液體注入系統(tǒng)(MTI)

圖片7.png     OTF-1200X-4-NW 6.jpg  OTF-1200X-4-NW 7.png

      數(shù)顯真空計          手動擋板閥(安裝在真空端部)       多種型號水冷機


可選注液:

OTF-1200X-4-NW 8.jpg     OTF-1200X-4-NW 9.jpg    OTF-1200X-4-NW 10.jpg

   帶溫控加熱的注液器            2.4MHz超聲霧化器            可加熱型注射泵


真空泵系統(tǒng):

圖片8.png



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