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晶體生長(zhǎng)爐
關(guān)鍵字:
提拉法
型號(hào):
SKJ-50CZ
產(chǎn)品概述:
SKJ-50CZ是一款高質(zhì)量的CZ晶體生長(zhǎng)爐,可針對(duì)于材料的實(shí)驗(yàn)探索,也可以適用于晶體材料的生產(chǎn)。此款晶體生長(zhǎng)爐已經(jīng)被證實(shí)可以提拉各種氧化物單晶和金屬單晶,如藍(lán)寶石、GGG, YAG, LaAlO3 , Si 和 Ge 等,最高溫度可達(dá)2100℃,最大可長(zhǎng)出晶體尺寸為2英寸。
技術(shù)參數(shù)(圖片僅供參考,以最終實(shí)物為準(zhǔn))
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
技術(shù)參數(shù)

·工作電源AC 380V,三相,25KW

·感應(yīng)射頻0.2-20KHz

·最高熔煉溫度2100℃

真空腔室

· 采用SS304不銹鋼腔體雙層水冷腔體,確保設(shè)備工作室表面溫度≤70℃,

· 腔體尺寸:φ500*700mmH

· 腔門上有一個(gè)80*300mm的方形觀察窗口,方便晶體生長(zhǎng)過(guò)程中實(shí)時(shí)觀察樣品的熔化和生長(zhǎng)情況;

· 腔體上部安裝了一個(gè)量程為-0.1-0.5MPa的機(jī)械壓力表用于觀察腔室內(nèi)壓力情況

· 一個(gè)φ6.35雙卡套接頭做為出氣口,并通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制出氣的通斷

· 一個(gè)電磁閥可自動(dòng)控制進(jìn)氣

· 安裝了一個(gè)安全泄壓閥,當(dāng)腔室中壓力大于一定值時(shí)將自動(dòng)泄壓,確保腔體的安全

圖片1.png

提拉機(jī)構(gòu)

· 直流力矩電機(jī)驅(qū)動(dòng)

·提拉速度:0.01-30mm/h

· 籽晶桿旋轉(zhuǎn)速度:0.1-60 rpm

·最大提拉行程:400mm

·位移精度:0.01mm

圖片3.png

上稱重系統(tǒng)

· 設(shè)備標(biāo)配一套上稱重系統(tǒng),可以精確的控制晶體生長(zhǎng)過(guò)程中的工藝參數(shù)。

· 秤量程:5.2 KG

· 秤精度:0.01g

圖片3.png

控制系統(tǒng)

整個(gè)電路控制系統(tǒng)在工控機(jī)上面實(shí)現(xiàn)操作控制,采用國(guó)際通用的labview軟件進(jìn)行控制,可以實(shí)現(xiàn)以下功能:

· 生長(zhǎng)斜率及控制參數(shù)設(shè)定;

· 控制晶升,動(dòng)態(tài)可調(diào)

· 控制晶轉(zhuǎn),可設(shè)定多段速自動(dòng)執(zhí)行

· 檢測(cè)晶體實(shí)時(shí)重量并反饋至歐陸表組成閉環(huán)控制

· 腔體真空壓力檢測(cè)

· 報(bào)警監(jiān)測(cè),晶升晶轉(zhuǎn)中頻氣壓及稱量程等上限報(bào)警

· 實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)曲線,晶體生長(zhǎng)圖例模擬

· 數(shù)據(jù)記錄,自動(dòng)存儲(chǔ)運(yùn)行數(shù)據(jù)

QQ截圖20221025145413.png

水冷系統(tǒng) (選配)

· 工作電流:2.1-12.9A

· 制冷量:49474Btu/h

· 最大流量:117L/min

· 水箱容量:75L

圖片5.png

真空系統(tǒng) (選配)

機(jī)械泵技術(shù)參數(shù):

· 型號(hào):VRD-48

· 抽氣口接口尺寸:KF40

· 抽氣速率:(48m3/h)13.3L/S  

· 電機(jī)功率:1500 W  

· 極限壓強(qiáng)4×10-2 Pa

分子泵技術(shù)參數(shù):

· 抽氣速率:700L/s

· 極限壓強(qiáng):6×10-6 Pa

· 啟動(dòng)時(shí)間:≤9min

· 額定轉(zhuǎn)速:36000rpm/min

· 冷卻方式:水冷

· 抽氣口接口尺寸:CF160

坩堝系統(tǒng) (選配)

? 可選銥坩堝及相應(yīng)的保溫材料組件

 此單晶爐最大可生長(zhǎng)晶體尺寸為≤φ2英寸*80mm

產(chǎn)品尺寸

? 爐體:880mm(L) x 1250mm(W) x 2640mm(H)

? 控制柜:600mm(L) x 600mm(W) x 1200mm(H)

? 中頻柜:965(L) x 812mm(W) x 1219mm(H)

保質(zhì)期

? 一年保質(zhì)期,終生維護(hù)(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件)

產(chǎn)品重量

2200kg

應(yīng)用注意事項(xiàng)

? 本公司多種單晶均由此單晶爐生長(zhǎng),如藍(lán)寶石, LaAlO3, LAST, SrLaAlO3, LiAlO3等

? 可點(diǎn)擊下圖查看用此單晶爐生長(zhǎng)Ge單晶的實(shí)物圖片

圖片6.png    圖片7.png   圖片8.png

 原料熔化                   下籽晶                  籽晶提拉

圖片9.png      圖片10.png

藍(lán)寶石                     Ni單晶

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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