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1350℃溫控型插入式蒸發(fā)源
- 關(guān)鍵字:
- 帶有磁流體密封,KF50法蘭,針對于PVD實驗
- 型號:
- GSL-1350X-ISE
- 產(chǎn)品概述:
- GSL-1350-ISE是一款溫控型可插入式蒸發(fā)儀,適用于蒸發(fā)各種金屬和有機材料,其最高溫度可達1350℃。采用磁流體密封,可保證在旋轉(zhuǎn)的腔體中進行PVD實驗。KF50的旋轉(zhuǎn)式快接法蘭,可非常方便地與各種真空腔體對接。此模塊還配有一進氣閥,用于通入氣體對腔體進行清洗和排氣,保證樣品在蒸鍍過程中不被氧化。
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結(jié)構(gòu)?&?特點
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此蒸鍍系統(tǒng)升溫可以手動和自動兩種模式。手動模式可以快速加大電流,達到快速加熱蒸發(fā),但溫控性較差。自動控制控溫較準確。 采用鎢線圈加熱,氧化鋁坩堝裝料,其最高溫度可達1350℃ 精確控溫,可設置30段升降溫程序,控溫精度可達+/- 1 oC Φ6.35mm進氣口,可向蒸鍍腔體中通入氣體 |
電源
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電壓:208 - 240 VAC 50/60 Hz, 單相, 500W |
? 溫控系統(tǒng)?&?加熱源
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最高工作溫度: 1350oC (<1hr)., 連續(xù)工作溫度:1200℃ 500WDC蒸發(fā)電源,最大電流30A 鎢絲加熱,S型熱偶測溫,氧化鋁坩堝裝樣 溫控系統(tǒng)可設置30段升降溫程序,控溫精度:+/- 1 oC 建議升溫速率< 30 oC/min 若長期工作在800℃以上,必須用高溫棉填滿耐火保溫層與坩堝之間的間隙。可減少鎢絲加熱元件的損耗。 |
樣品坩堝
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配有0.7ml的氧化鋁坩堝 S型熱電偶嵌在坩堝底部,用于精確測量加熱溫度 |
進氣口
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6.35進氣口,用于向蒸鍍腔體中通入氣體 一個針閥安裝在進氣口后端,用于控制其氣體流量 |
可選
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可選購快接法蘭,接口為KF50,可與Φ50mm爐管對接 |
質(zhì)保
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一年質(zhì)保期,終身維護 |
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