| 主要特點 | 真空控制單元全部集合在一個控制盒內(nèi)。 采用獨立的蒸鍍電流控制器，操作方便快捷。 真空腔體設(shè)有1個KF40旁抽閥（直接與前級機械泵相連，方便快速取放樣品，提高效率）、1個CF150閘板 閥（直接與分子泵相連）、1個KF16法蘭（安裝電阻規(guī)）、5個CF35法蘭（1個安裝電離規(guī)，4個備用，便于安裝其他設(shè)備）。 在腔體底部配有5個水冷電極，可支持4個蒸鍍加熱舟。 4個蒸鍍加熱舟上方配有獨立的可移動擋板，有效地避免蒸發(fā)時相互污染。 · 樣品臺安裝在腔體的頂部。 · 腔內(nèi)可裝高分辨率的薄膜測厚儀，精度為10?。 可使用循環(huán)水冷機。 |
| 技術(shù)參數(shù) | 輸入：單相AC208-240V，20A，50Hz/60Hz，<10KW 輸出：0-8V AC 可調(diào)，最大電流400A，最大功率8000W（包括真空泵） 真空腔：Φ300mm（內(nèi)徑）×400mm，不銹鋼，內(nèi)壁經(jīng)電拋光處理 腔門：Φ200mm 觀察窗：Φ95mm，采用專用密封圈密封 真空泵：高抽速渦輪分子泵，抽速600L/s（標配GZK-103G分子泵） 真空度：5.0×10-6torr（泵開啟40min后） · 極限真空度：5.0×10-7torr （加熱溫度為100℃-150℃） · 漏率：5.0×10-7Pa/s · 樣品臺：Φ140mm · · 蒸發(fā)舟與樣品臺間距：260mm 冷卻水需量：15L/min |
| 產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸：650mm×1200mm×1600mm； 重量：600kg |
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