| 主要參數(shù) | ·最大射頻功率: 100 W ·真空泵功率: < 500W ·總功率: < 600W ·電源：AC 220V , 50Hz |
| 射頻電源 | ·射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié) ·頻率: 13.56 MHz ·可以與本公司工作人員聯(lián)系將原有電源升級為300W或500W的射頻電源，來進(jìn)行等離子刻蝕或等離子灰化等實(shí)驗(yàn) |
| 等離子腔體 | ·8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體 ·鋁制折疊式法蘭來進(jìn)行真空密封 ·法蘭上有一個(gè)直徑為60mm的觀察窗口 ·此設(shè)備完全屏蔽射頻輻射，零射頻泄漏 |
| 控制面板 | ·通過6" 彩色觸摸屏，可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時(shí)間和氣體流量等. ·儀器內(nèi)部安裝有一0 - 100ml/minute質(zhì)量流量計(jì)，可精確地控制進(jìn)氣流量 |
| 真空泵（選配） | ·儀器必須使用抽氣速率大于4L/S的真空泵 ·極限真空度為50mTorr |
| 通入氣體 | ·等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定） ·不能使用易燃?xì)怏w及腐蝕性氣體。 |
| 可選 | ·可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片 ·可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
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| 外形尺寸 | ·620 L ×600 W ×600 H, mm |
| 質(zhì)保期 | 一年保修，終身技術(shù)支持。 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
| 相關(guān)應(yīng)用 | ·請自行根據(jù)您的應(yīng)用測試最佳的等離子功率 ·對于等離子清洗，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在10 - 30W之間 ·對于等離子刻蝕，根據(jù)工藝，通常保持射頻功率在35 - 80W之間 ·可根據(jù)要求提供300W高功率射頻電源 |
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