| 名稱 | 800℃ CSS/RTP快速熱蒸鍍爐（配5英寸旋轉樣品臺）OTF-1200X-RTP-II-5 |
| 視頻 | 儀表操作視頻 |
| 結構及特點 | ·采用兩個溫度控制器，分別控制頂部和底部兩組加熱元件。安裝有浮子流量計，可向真空腔體中通入氣體 ·真空腔體為一高純的石英管，其尺寸為：11" OD/10.8" ID×9" H mm ·快速升溫MAX 50攝氏度/s ·可蒸發(fā)大尺寸基片 |
| 基本參數 | 工作溫度：最高800℃ 推薦加熱速率：≦10℃/s（每個溫區(qū)單獨加熱） 功率：20KW 電壓：AC220V 50Hz 單相（需要20A空氣開關） |
| 真空法蘭 | ·真空法蘭為316不銹鋼制作 ·頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的出氣口 ·底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個1/4" 軟管接頭的進氣口 ·法蘭是通過兩個硅膠O型圈進行密封，用機械泵其腔體內真空度可達10-2 torr，用分子泵其腔體內真空度可達10-4torr.（僅供參考，詳情請點擊） |
| 加熱元件和載樣臺 | ·由兩組紅外燈管作為加熱元件，分別位于頂部和底部 ·兩個加熱臺之間的距離可以通過直流電機調節(jié) ·為了減少熱量輻射和達到較快的冷卻速率，加熱元件安裝在帶有水冷夾層的不銹鋼殼體中（不銹鋼殼體采用316不銹鋼制作） ·采用導熱率較高的氮化鋁陶瓷片（5"×5"×0.5mm厚度）作為載樣臺，以達到較好的加熱均勻性 ·底部載樣臺上可放入5"×5"的石墨坩堝來盛放蒸發(fā)原料 ·此款儀器使用時需要配用一循環(huán)水冷機（KJ-5300型，16L/min)
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| 溫控系統(tǒng) | ·兩個精密的溫控系統(tǒng)分別獨立控制上下兩個加熱區(qū)，可設置50段升降溫程序 ·每個溫控系統(tǒng)都帶有超溫和斷偶保護 ·PC通訊接口，軟件可安裝，可將控溫程序和溫度曲線導入到電腦中
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| 熱電偶 | 兩個K型熱電偶，安裝在頂部和底部，都與氮化鋁陶瓷片相接觸 |
| 可選 | ·實驗時需要一個真空泵，可與本公司選購真空泵 ·采用機械泵可使腔體內的真空度達到10E-2 torr ·若要使真空腔體內達到更潔凈的工作環(huán)境，可換購無油泵 ·也可選購質子流量計混氣系統(tǒng)，將實驗所需氣體按比例混好后導入到真空腔體中 |
| 認證 | 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。
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| 使用注意事項 | ·爐管內氣壓不可高于0.02MPa ·由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ·當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài) ·進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ·石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ·對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
| 保修期 | 一年保修，終身技術支持。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。 |
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