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1100℃管式爐（過渡金屬硫族化合物二維CVD層固體前驅(qū)體升華劑研究）
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進口無油真空泵226L/m
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高真空分子泵機組
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1700℃立式爐
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1200℃氣氛控制立式淬火爐（100mm管徑）
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真空系統(tǒng)
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超聲霧化熱解爐（配100mm爐管，噴霧噴嘴和自動進料系統(tǒng)）
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1100℃雙溫區(qū)分體式管式爐（配100mm石英管，真空法蘭）
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1200℃小型開啟式立式管式爐（φ25mm或50mm石英管）
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100L/S高速分子泵組 (觸摸屏控制)
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1200℃小型流化床CVD爐（帶1英寸外徑石英管和法蘭，用于粉末CVD）
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1100℃小型 氣氛控制淬火爐 (φ50*600mm,液體罐Φ100mm×80mm)
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手動軟包電池切片機
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1200℃小型雙爐體滑動TCVD爐(50mm石英管)
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1200℃可快速升降溫滑軌管式爐
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1200℃三溫區(qū)滑軌爐
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雙極旋片式真空泵
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單級旋片式真空泵
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1500℃六溫區(qū)開啟式管式爐（Φ60剛玉管&不銹鋼水冷密封法蘭）
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精密氣動點焊機
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柱狀電池電極半自動分切機
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雙層立式油霧過濾器
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管式爐用自動水氧 循環(huán)系統(tǒng) (O2/H2O<1ppm)
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1100度小型真空/氣氛快速升降溫RTP滑軌爐（載物臺：4英寸 升溫速度：50度/S）
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
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