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1200℃三溫區(qū)管式爐（溫區(qū)610mm，可選石英管和法蘭60-130mm）
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1200℃小型雙溫區(qū)開啟式管式爐（可選1或2英寸石英管和法蘭）
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1800℃小型真空管式爐 （60mm外徑，康耐爾1800級硅鉬棒）
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1750℃桌面式真空氣氛管式爐（60mm外徑，康耐爾1800級硅鉬棒）
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1100℃石英管式爐（50mm爐管，帶溫度校準(zhǔn)器和真空泵）
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1400℃箱式爐（3.4L，爐腔尺寸：150*150*150mm）
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導(dǎo)電陶瓷隔膜
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6um厚Cu箔
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甲基吡咯烷酮
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導(dǎo)電石墨粉
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1200度旋轉(zhuǎn)粉末ALD系統(tǒng)
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普通加熱平臺
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線切割機(jī)搖擺機(jī)構(gòu)
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鑄鋁拋光盤
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彈性樣品夾
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精確磨拋控制儀
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自動(dòng)壓力研磨拋光機(jī)
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自動(dòng)精密研磨拋光機(jī)
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定向CVD生長爐
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1700℃單溫區(qū)三通道混氣真空管式爐（配73mm氧化鋁管和防腐真空計(jì)）
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真空儲存罐70mL
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雙工位定向儀
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磁性材料研制設(shè)備
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真空旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)
皖公網(wǎng)安備 34012302000974號
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