名稱型號 | ·1200℃自動化管式爐(150mm管徑,用于AI材料實驗) GSL-1200XS6-ASD |
產(chǎn)品特點 | ·可配合協(xié)助機器人完成自動放樣,自動關(guān)閉及密封法蘭,通入惰性氣體清洗,自動控制供氣流量,升溫,恒溫,降溫,自動打開法蘭取出樣品,可以進行多次循環(huán)操作 ·通過機器人實現(xiàn)對樣品自動放取,實現(xiàn)工藝的完全自動化, ·購買多臺設(shè)備可以實現(xiàn)高通量樣品燒結(jié),一臺機器人對多臺設(shè)備進行取放樣。 ·雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。 ·帶有數(shù)顯真空計可做微正壓恒壓控制(103000-120000 Pa),維持爐內(nèi)的壓力, ·高純度氧化鋁纖維絕熱材料更加節(jié)能 |
加熱爐基本參數(shù) | ·電源電壓要求:AC 208-240V 單相, 50/60 Hz ·功率:6KW ·最高溫度:1200℃(≤30min) ·連續(xù)工作溫度:1100℃ ·加熱區(qū)長度:350mm ·加熱元件:電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金) ·熱電偶類型:K型 ·推薦升溫速率:≦10℃/min(≤1400℃) ·爐管: 尺寸:φ150*600mm(長) 材質(zhì):高純石英 (注:剛玉屬于易損易耗,不在質(zhì)保范圍內(nèi)) |
溫控系統(tǒng) | · 包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃) · PID自動控溫系統(tǒng) · 智能化50段可編程控制 · 通過UL認證 · 控溫精度:±1℃ |
不銹鋼法蘭密封系統(tǒng) /及接口設(shè)置 | ·一套6英寸全自動密封不銹鋼水冷法蘭,通過電缸進行恒壓力密封和自動開啟 ·設(shè)備需搭配水冷機使用(進出水口為φ12mm) ·右端法蘭留有一個G1/4雙卡套出氣口與設(shè)備內(nèi)置出氣系統(tǒng)連接, 一個G1/4鎧裝熱電偶插入口用于檢測管內(nèi)溫度 ·右邊法蘭內(nèi)側(cè)有樣品放置平臺(支撐架尺寸詳見目錄 樣品臺支架) ·左邊留有KF25抽氣口用于連接真空泵,配有數(shù)顯真空計,一個G1/4進氣口。 ·設(shè)備帶有真空泵外接三芯插座和真空電磁擋板閥的外接航空插頭(將真空泵接入插座后,真空泵的運行和電磁擋板閥的開合由該系統(tǒng)自動控制) |
樣品臺支架 | ·樣品臺支架有兩種: 一種可以放四個坩堝(坩堝材質(zhì)可以根據(jù)客戶需求定制,如石英,氧化鋁,石墨) 一種可以放置25-30片四英寸基片的石英支架如下圖 ·樣品臺支架材質(zhì)是石英的 ·坩堝尺寸外徑40mm高30mm ·樣品臺支架留有機器人抓取位置 ·樣品臺帶有刻碼處理便于視覺傳感器捕捉 |
PC機+軟件 | 通過軟件可以進行以下操作: ·設(shè)置加熱爐升溫曲線,設(shè)置通入加熱爐內(nèi)氣體流量大小,設(shè)置取放樣循環(huán)次數(shù)。 ·參數(shù)設(shè)置完成后,加熱爐配合機器手可以完成以下流程 1.機器人裝樣后,能夠自動關(guān)閉艙門 2.通入流動保護氣體 3.執(zhí)行程序多段升溫恒溫和降溫步驟(高達50段) 4.程序完成后,停氣,能夠在500度打開艙門完成換樣, (注:換樣過程中爐子需要盡量恒溫,保持加熱狀態(tài)) 5.換樣完成后,可以繼續(xù)重復(fù)進行原有的溫度程序。 (程序開源,配合機械手和對軟件進行嵌入式循環(huán)工藝控制) 6.全流程自動記錄工藝 軟件顯示顯示以下參數(shù): ·爐管內(nèi)壓力 ·設(shè)備內(nèi)置一路0-1000sccm的質(zhì)量流量控制器 ·清洗周期(0-3次) ·前面板上安裝RJ45通信接口,可連接PC或無線路由器實現(xiàn)遠程控制(PC和路由器可另行提供) ·電腦操作軟件,可支持多臺加熱爐 ·向現(xiàn)有客戶開放通信代碼,將設(shè)備與機器人連接,實現(xiàn)無人操作 |
自動化協(xié)助機器人(選配) | ·額定負載:5KG ·工作半徑:900mm ·最大臂展:1096mm ·額定電壓: DC48V ·本體重量:25KG ·重復(fù)定位精度:±0.02mm ·通訊方式:TCP/IP,Modbus,無線網(wǎng)絡(luò) ·典型功耗:150W |
冷水機(選配) | · 型號:KJ-5000 · 工作電壓:AC 220V 50HZ · 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h · 壓縮機功率:300W,水箱容量:6L · 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg |
真空度(選配) | · 配套機械泵,真空度可以達到10-2 torr · 配套分子泵,真空度可以達到10-5 torr |
產(chǎn)品尺寸 | ·外形尺寸:1200*860*1000mm(長*寬*高) |
重量 | ·約200kg |
保質(zhì)期 | ·1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件) |
使用注意事項 | · 剛玉管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa; · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa, 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全; · 設(shè)備需在獨立供電網(wǎng)下工作,電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi),不可與中頻高頻等高磁場發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng), 并不可與該類型設(shè)備處于同一房間,如無法做到請對電網(wǎng)進行諧波檢測和治理,對設(shè)備進行電磁隔離處理 · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體, 請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責。 ·設(shè)備請遠離存在液體飛濺場所 ·設(shè)備請遠離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末 ·保溫和加熱元件為損耗件,保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正常現(xiàn)象,可使用修補劑修補,加熱元件為損耗件, 在電爐長時間使用后無法達到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進行更換, ·該設(shè)備高精度溫控范圍為500-1600℃,低溫運行會存在溫度振蕩, ·該設(shè)備不建議在低于1000℃以下工作,這樣會降低加熱元件的壽命 ·不建議500℃以上開啟爐膛 ·請保持氣動供氣源的壓力穩(wěn)定(0.5-0.6mpa) ·剛玉管和內(nèi)置支架等高溫陶瓷部件屬于易損易耗原件,不在質(zhì)保的范圍, |
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