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1200℃自動化管式爐(150mm管徑,用于AI材料實驗)
型號:
GSL-1200XS6-ASD
產(chǎn)品概述:
GSL-1200XS6-ASD是一個爐管外徑6英寸全自動加熱管式爐,通過PC上位機軟件預(yù)設(shè)工藝流程可實現(xiàn)一鍵式操作自動執(zhí)行燒結(jié)工藝,可配合協(xié)助機器人完成自動放樣,自動關(guān)閉及密封法蘭,自動通入預(yù)設(shè)的真空度和洗氣流量進行氣體置換、自動運行預(yù)設(shè)氣體流量通入、爐體升溫、恒溫、降溫、并自動打開法蘭取出樣品,可以進行多次循環(huán)操作??蓪崿F(xiàn)一臺PC機控制多臺設(shè)備工作,并配合協(xié)助機器人可以實現(xiàn)全天候不間斷全自動高通量樣品燒結(jié),配置的控制軟件可實現(xiàn)遠程/近程控制設(shè)備的真空、供氣、燒結(jié)、開關(guān)爐門等一系列操作,該設(shè)備最高溫度可達1200℃。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
名稱型號

·1200℃自動化管式爐(150mm管徑,用于AI材料實驗) GSL-1200XS6-ASD


產(chǎn)品特點

·可配合協(xié)助機器人完成自動放樣,自動關(guān)閉及密封法蘭,通入惰性氣體清洗,自動控制供氣流量,升溫,恒溫,降溫,自動打開法蘭取出樣品,可以進行多次循環(huán)操作

·通過機器人實現(xiàn)對樣品自動放取,實現(xiàn)工藝的完全自動化,

·購買多臺設(shè)備可以實現(xiàn)高通量樣品燒結(jié),一臺機器人對多臺設(shè)備進行取放樣。

·雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。

·帶有數(shù)顯真空計可做微正壓恒壓控制(103000-120000 Pa),維持爐內(nèi)的壓力,

·高純度氧化鋁纖維絕熱材料更加節(jié)能

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加熱爐基本參數(shù)

·電源電壓要求:AC 208-240V 單相, 50/60 Hz

·功率:6KW

·最高溫度:1200℃(≤30min)

·連續(xù)工作溫度:1100℃

·加熱區(qū)長度:350mm

·加熱元件:電阻絲(摻鉬鐵鉻鋁合金)

·熱電偶類型:K型

·推薦升溫速率:≦10℃/min(≤1400℃)

·爐管:

 尺寸:φ150*600mm(長)

 材質(zhì):高純石英

 (注:剛玉屬于易損易耗,不在質(zhì)保范圍內(nèi))

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溫控系統(tǒng)

· 包含一款858P型溫度控制器(也可選配歐陸儀表恒溫精度可達±0.1℃)

· PID自動控溫系統(tǒng)

· 智能化50段可編程控制

· 通過UL認證

· 控溫精度:±1℃

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不銹鋼法蘭密封系統(tǒng) /及接口設(shè)置

·一套6英寸全自動密封不銹鋼水冷法蘭,通過電缸進行恒壓力密封和自動開啟

·設(shè)備需搭配水冷機使用(進出水口為φ12mm)

·右端法蘭留有一個G1/4雙卡套出氣口與設(shè)備內(nèi)置出氣系統(tǒng)連接,

 一個G1/4鎧裝熱電偶插入口用于檢測管內(nèi)溫度

·右邊法蘭內(nèi)側(cè)有樣品放置平臺(支撐架尺寸詳見目錄 樣品臺支架)

·左邊留有KF25抽氣口用于連接真空泵,配有數(shù)顯真空計,一個G1/4進氣口。

·設(shè)備帶有真空泵外接三芯插座和真空電磁擋板閥的外接航空插頭(將真空泵接入插座后,真空泵的運行和電磁擋板閥的開合由該系統(tǒng)自動控制)

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樣品臺支架

·樣品臺支架有兩種:

 一種可以放四個坩堝(坩堝材質(zhì)可以根據(jù)客戶需求定制,如石英,氧化鋁,石墨)

 一種可以放置25-30片四英寸基片的石英支架如下圖

·樣品臺支架材質(zhì)是石英的

·坩堝尺寸外徑40mm高30mm

·樣品臺支架留有機器人抓取位置

·樣品臺帶有刻碼處理便于視覺傳感器捕捉

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PC機+軟件

通過軟件可以進行以下操作:

·設(shè)置加熱爐升溫曲線,設(shè)置通入加熱爐內(nèi)氣體流量大小,設(shè)置取放樣循環(huán)次數(shù)。

·參數(shù)設(shè)置完成后,加熱爐配合機器手可以完成以下流程

 1.機器人裝樣后,能夠自動關(guān)閉艙門

 2.通入流動保護氣體

 3.執(zhí)行程序多段升溫恒溫和降溫步驟(高達50段)

 4.程序完成后,停氣,能夠在500度打開艙門完成換樣,

(注:換樣過程中爐子需要盡量恒溫,保持加熱狀態(tài))

 5.換樣完成后,可以繼續(xù)重復(fù)進行原有的溫度程序。

(程序開源,配合機械手和對軟件進行嵌入式循環(huán)工藝控制)

 6.全流程自動記錄工藝

軟件顯示顯示以下參數(shù):

·爐管內(nèi)壓力

·設(shè)備內(nèi)置一路0-1000sccm的質(zhì)量流量控制器

·清洗周期(0-3次)

·前面板上安裝RJ45通信接口,可連接PC或無線路由器實現(xiàn)遠程控制(PC和路由器可另行提供)  

·電腦操作軟件,可支持多臺加熱爐

·向現(xiàn)有客戶開放通信代碼,將設(shè)備與機器人連接,實現(xiàn)無人操作

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自動化協(xié)助機器人(選配)

·額定負載:5KG

·工作半徑:900mm

·最大臂展:1096mm

·額定電壓: DC48V

·本體重量:25KG

·重復(fù)定位精度:±0.02mm

·通訊方式:TCP/IP,Modbus,無線網(wǎng)絡(luò)

·典型功耗:150W

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冷水機(選配)

· 型號:KJ-5000

· 工作電壓:AC 220V 50HZ

· 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

· 壓縮機功率:300W,水箱容量:6L

· 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg

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真空度(選配)

· 配套機械泵,真空度可以達到10-2 torr

· 配套分子泵,真空度可以達到10-5 torr

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產(chǎn)品尺寸

·外形尺寸:1200*860*1000mm(長*寬*高)

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重量

·約200kg


保質(zhì)期

·1年(不包含爐管,氟膠O型圈和加熱元件等損耗件)






使用注意事項


· 剛玉內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa;

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向石英管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,

 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 設(shè)備需在獨立供電網(wǎng)下工作,電網(wǎng)電壓范圍要求在±8%內(nèi),不可與中頻高頻等高磁場發(fā)生設(shè)備共用供電網(wǎng),

 并不可與該類型設(shè)備處于同一房間,如無法做到請對電網(wǎng)進行諧波檢測和治理,對設(shè)備進行電磁隔離處理

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,

 請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責。

·設(shè)備請遠離存在液體飛濺場所

·設(shè)備請遠離存在導(dǎo)磁導(dǎo)電粉末

·保溫和加熱元件為損耗件,保溫材料在燒結(jié)過程中出現(xiàn)裂紋為正常現(xiàn)象,可使用修補劑修補,加熱元件為損耗件,

在電爐長時間使用后無法達到工作溫度和升溫明顯緩慢后聯(lián)系廠家判斷是否要進行更換,

·該設(shè)備高精度溫控范圍為500-1600℃,低溫運行會存在溫度振蕩,

·該設(shè)備不建議在低于1000℃以下工作,這樣會降低加熱元件的壽命

·不建議500℃以上開啟爐膛

·請保持氣動供氣源的壓力穩(wěn)定(0.5-0.6mpa)

·剛玉管和內(nèi)置支架等高溫陶瓷部件屬于易損易耗原件,不在質(zhì)保的范圍,



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