設(shè)備名稱型號 | ·1700℃立式CVD系統(tǒng)(帶液體汽化,防腐型法蘭和閥門,可用于SiC薄膜沉積) |
高溫爐參數(shù) | · 額定功率:7KW · 額定電壓:AC220V 50/60HZ · 工作溫度:1600℃ · 最高溫度:1700℃(≤30min) · 建議升溫速率: 10℃/min (≤1400℃) 5℃/min ( 1400℃-1600℃) 2℃/min ( >1600℃) · 加熱元件:硅鉬棒 · 熱電偶:B型 · 加熱區(qū)長度:400mm · 控溫精度:±1℃ · 爐管尺寸:φ60*1000mm(陶瓷管) 溫控系統(tǒng): · 包含一款858型溫度控制器;PID自動控溫系統(tǒng); · 智能化50段可編程控制; · 內(nèi)置過熱保護和熱電偶故障報警; · 控溫精度:±1℃; · 默認DB9 PC通信連接端口 · 可選購電腦溫度控制軟件(用于858系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù) |
不銹鋼密封系統(tǒng) | · 一對鈦合金水冷法蘭安裝在爐管兩端,采用氟膠O型圈密封。法蘭上含有水管接頭,通過的水管與水冷設(shè)備相連接。 · 上端法蘭含有兩個316LEP材質(zhì)的卡套接頭作為進氣口,分別通過一個316LEP隔膜閥控制進氣的通斷, 其中一個進氣口與氣液混合罐的出氣口相連接,進氣管道為316LEP材質(zhì),且包裹了玻璃纖維加熱帶,加熱帶最高加熱溫度200℃; 另外一個進氣口與供氣系統(tǒng)上的出氣口1相連接,進氣管道為316LEP材質(zhì);安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表,用于觀察爐管壓力; · 下端法蘭上的一個φ8mm的寶塔嘴接頭為出氣口,一個316LEP的隔膜閥控制出氣的通斷。出氣端氣體需進行收集處理。 一個KF40接口為抽真空接口,通過波紋管與真空泵相連接,安裝了一個安全泄壓閥,當(dāng)爐管內(nèi)壓力達到上限壓力時,安全閥自動打開排氣; 一個KF25接口與過濾桶組件連接。 · 放樣:上法蘭留有樣品吊鉤,用于吊掛樣品,下法蘭也可以預(yù)留樣品放置平臺。 上懸掛法 下裝載法 |
氣液混合加熱裝置 | · 容量:300ml · 材質(zhì):鈦合金 · 最大壓力:0.15MPa · 最高加熱溫度:150℃ · 氣液混合罐的進氣口連接供氣系統(tǒng)的出氣口2 · 進出氣截止閥為316LEP材質(zhì)的隔膜閥,進出氣管道為316LEP材質(zhì)不銹鋼管 · 氣液混合罐加熱裝置采用 PID 方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置 28 段升溫程序,控溫精度+/-1oC。 |
供氣系統(tǒng) | · 三個質(zhì)量流量控制器精準控制氣體流量,量程:1-1000SCCM · 其中第二路的氣體流量計為CS200D · 一路和三路氣體進入混氣罐內(nèi)混合后從供氣系統(tǒng)的出氣口1+3出氣,出氣口1+3通過不銹鋼氣管與法蘭上的進氣口2相連接。 · 第二路氣體通過流量計后從供氣系統(tǒng)的出氣口2單獨出氣,通過四氟管與氣液混合罐的進氣口相連接。 |
氣體探測裝置 (選配) | · 供氣系統(tǒng)上含有兩個氣體探測器,一個為氫氣探測器,一個為氯化氫氣體探測器 · 氣體探測報警器設(shè)置有兩極報警,氫氣探測器第一級的報警點為50ppm(氯化氫第一級的報警點為1.5ppm) 一旦探測到的氣體的濃度達到此值時,探測器報警器將發(fā)出峰鳴報警聲,提醒客戶檢查漏氣點。 氫氣探測器第二級的報警點為100ppm(氯化氫第一級的報警點為3ppm),一旦探測到氣體溶度達到此值時,系統(tǒng)將自動關(guān)閉氣體的進氣閥。 |
過濾桶組件 | · 下法蘭的KF25接口通過波紋管過濾器連接,兩個過濾器之間通過波紋管串聯(lián)在一起。 過濾器尺寸:φ200*300mm,過濾桶內(nèi)裝有過濾介質(zhì)(過濾介質(zhì)客戶自備),右側(cè)過濾桶的另一個KF25接口與收集裝置連接(收集裝置客戶自備) |
真空系統(tǒng)(選配) | · 型號:VRD-16 · 抽氣速率:4.4L/S · 電機功率:550W · 極限壓強:4×10-1Pa(不帶負載) · 實際壓強:≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機械泵抽20分鐘) · 為了得到更高的真空度,可以選購我公司的其他高真空系統(tǒng) |
水冷設(shè)備(選配) | · 型號:CW-5000 · 壓縮機功率:0.3KW · 水流速率:16L/min · 水箱容量:6L · 溫度控制:5-30℃ |
設(shè)備外形尺寸 | · 爐子主體:1180mm(L)*800mm(W)*2200mm(H) · 氣路系統(tǒng):600mm(L)*800mm(W)*970mm(H) |
重量 | ·約330KG |
質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期,終生維護 · 特別提示: 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi) 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
使用注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓); · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全, 建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全; · 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù), 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責(zé)。 · 氣體的流量應(yīng)<200SCCM(200ml/min) · 由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過程中會存在斷管的風(fēng)險,這是無法完全避免的,請客戶知曉 |
使用注意事項 | · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓); · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa, 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全; · 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù), 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) · 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責(zé)。 · 氣體的流量應(yīng)<200SCCM(200ml/min) · 由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過程中會存在斷管的風(fēng)險,這是無法完全避免的,請客戶知曉 |
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