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1700℃立式CVD系統(tǒng)(帶液體汽化,防腐型法蘭和閥門,可用于SiC薄膜沉積)
產(chǎn)品概述:
立式高溫CVD系統(tǒng)如圖所示,由3路供氣系統(tǒng)與OTF-1700X立式爐組成,高溫爐以硅鉬棒為發(fā)熱元件,額定溫度1600℃,采用B型雙鉑銠熱電偶測溫和智能溫控儀自動控溫,具有較高的控溫精度。上下密封法蘭采用鈦合金材料,具備一定的耐腐蝕性,另外還配備了一套鈦合金的精密氣液混合罐,用于前驅(qū)體制備。整套系統(tǒng)可用于CVD法制備SiC涂層或薄膜。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
設(shè)備名稱型號

·1700℃立式CVD系統(tǒng)(帶液體汽化,防腐型法蘭和閥門,可用于SiC薄膜沉積)

高溫爐參數(shù)

· 額定功率:7KW

· 額定電壓:AC220V 50/60HZ

· 工作溫度:1600℃

· 最高溫度:1700℃(≤30min)

· 建議升溫速率:

  10℃/min (≤1400℃)

  5℃/min ( 1400℃-1600℃)

  2℃/min ( >1600℃)

· 加熱元件:硅鉬棒

· 熱電偶:B型

· 加熱區(qū)長度:400mm

· 控溫精度:±1℃

· 爐管尺寸:φ60*1000mm(陶瓷管)

溫控系統(tǒng):

· 包含一款858型溫度控制器;PID自動控溫系統(tǒng);

· 智能化50段可編程控制;

· 內(nèi)置過熱保護和熱電偶故障報警;

· 控溫精度:±1℃;

· 默認DB9 PC通信連接端口

· 可選購電腦溫度控制軟件(用于858系列控制器)用于控制升溫曲線和導(dǎo)出數(shù)據(jù)


不銹鋼密封系統(tǒng)

· 一對鈦合金水冷法蘭安裝在爐管兩端,采用氟膠O型圈密封。法蘭上含有水管接頭,通過的水管與水冷設(shè)備相連接。

· 上端法蘭含有兩個316LEP材質(zhì)的卡套接頭作為進氣口,分別通過一個316LEP隔膜閥控制進氣的通斷,

  其中一個進氣口與氣液混合罐的出氣口相連接,進氣管道為316LEP材質(zhì),且包裹了玻璃纖維加熱帶,加熱帶最高加熱溫度200℃;

  另外一個進氣口與供氣系統(tǒng)上的出氣口1相連接,進氣管道為316LEP材質(zhì);安裝了一個量程為-0.1-0.15MPa的機械壓力表,用于觀察爐管壓力;

圖片1.png

· 下端法蘭上的一個φ8mm的寶塔嘴接頭為出氣口,一個316LEP的隔膜閥控制出氣的通斷。出氣端氣體需進行收集處理。

  一個KF40接口為抽真空接口,通過波紋管與真空泵相連接,安裝了一個安全泄壓閥,當(dāng)爐管內(nèi)壓力達到上限壓力時,安全閥自動打開排氣;

  一個KF25接口與過濾桶組件連接。

· 放樣:上法蘭留有樣品吊鉤,用于吊掛樣品,下法蘭也可以預(yù)留樣品放置平臺。

圖片2.png 圖片3.png

上懸掛法 下裝載法


 


氣液混合加熱裝置

· 容量:300ml

· 材質(zhì):鈦合金

· 最大壓力:0.15MPa

· 最高加熱溫度:150℃

· 氣液混合罐的進氣口連接供氣系統(tǒng)的出氣口2

· 進出氣截止閥為316LEP材質(zhì)的隔膜閥,進出氣管道為316LEP材質(zhì)不銹鋼管

· 氣液混合罐加熱裝置采用 PID 方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置 28 段升溫程序,控溫精度+/-1oC。

圖片4.png

供氣系統(tǒng)

· 三個質(zhì)量流量控制器精準控制氣體流量,量程:1-1000SCCM

· 其中第二路的氣體流量計為CS200D

· 一路和三路氣體進入混氣罐內(nèi)混合后從供氣系統(tǒng)的出氣口1+3出氣,出氣口1+3通過不銹鋼氣管與法蘭上的進氣口2相連接。

· 第二路氣體通過流量計后從供氣系統(tǒng)的出氣口2單獨出氣,通過四氟管與氣液混合罐的進氣口相連接。

圖片5.png

氣體探測裝置 (選配)

· 供氣系統(tǒng)上含有兩個氣體探測器,一個為氫氣探測器,一個為氯化氫氣體探測器

· 氣體探測報警器設(shè)置有兩極報警,氫氣探測器第一級的報警點為50ppm(氯化氫第一級的報警點為1.5ppm)

 一旦探測到的氣體的濃度達到此值時,探測器報警器將發(fā)出峰鳴報警聲,提醒客戶檢查漏氣點。

 氫氣探測器第二級的報警點為100ppm(氯化氫第一級的報警點為3ppm),一旦探測到氣體溶度達到此值時,系統(tǒng)將自動關(guān)閉氣體的進氣閥。

圖片6.png

過濾桶組件

· 下法蘭的KF25接口通過波紋管過濾器連接,兩個過濾器之間通過波紋管串聯(lián)在一起。

 過濾器尺寸:φ200*300mm,過濾桶內(nèi)裝有過濾介質(zhì)(過濾介質(zhì)客戶自備),右側(cè)過濾桶的另一個KF25接口與收集裝置連接(收集裝置客戶自備)

圖片7.png

真空系統(tǒng)(選配)


· 型號:VRD-16

· 抽氣速率:4.4L/S

· 電機功率:550W

· 極限壓強:4×10-1Pa(不帶負載)

· 實際壓強:≤2 Pa(帶上爐管和密封法蘭,冷態(tài)下機械泵抽20分鐘)

· 為了得到更高的真空度,可以選購我公司的其他高真空系統(tǒng)

圖片8.png 圖片9.png 

水冷設(shè)備(選配)

· 型號:CW-5000

· 壓縮機功率:0.3KW

· 水流速率:16L/min

· 水箱容量:6L

· 溫度控制:5-30℃


設(shè)備外形尺寸

· 爐子主體:1180mm(L)*800mm(W)*2200mm(H)

· 氣路系統(tǒng):600mm(L)*800mm(W)*970mm(H)

圖片10.png

重量

·約330KG


質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護

· 特別提示:

 1、耗材部分如加熱元件、爐管、樣品坩堝等不包含在內(nèi)

 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)






使用注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,

 建議使用壓力低于0.02MPa,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),

 若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。

由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責(zé)。

· 氣體的流量應(yīng)<200SCCM(200ml/min)

· 由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過程中會存在斷管的風(fēng)險,這是無法完全避免的,請客戶知曉




使用注意事項

· 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa(相對氣壓);

· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.02MPa,

建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全;

· 對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),

若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體,請客戶自行做好相關(guān)防護和防爆措施。

由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問題,本公司概不負責(zé)。

· 氣體的流量應(yīng)<200SCCM(200ml/min)

· 由于氧化鋁管制作工藝的原因,爐管在燒結(jié)過程中會存在斷管的風(fēng)險,這是無法完全避免的,請客戶知曉


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