參考文獻(xiàn) | |
電源 | ·電壓:AC208-240V 單相 50/60Hz ·功率:2.5KW(需要15A空氣開關(guān)) |
爐體 | ·小型開啟式爐體,氧化鋁纖維內(nèi)襯爐膛,雙層殼體結(jié)構(gòu) ·最高工作溫度1350℃ ·控溫精度:+/-0.1℃ ·設(shè)備上安裝有位移傳感器,顯示精度±1um ·爐體安裝在一個(gè)真空腔體內(nèi),可氣氛控制 |
樣品固定裝置&樣品 | ·裝置采用再結(jié)晶SiC制作的樣品固定裝置 ·固定裝置由2部分組成,用2個(gè)M18螺母擰緊 ·被測試樣品尺寸:Φ8mm×0.5mm ·選購:可選購CNC取樣器來制作樣品(圖4) 圖4 |
推壓棒 | · 推桿材質(zhì)為鉬(圖1) · 儀器上校準(zhǔn)連接器與推桿連接,確保對準(zhǔn)直徑為2.5mm的SiC底座(圖2) |
加熱腔體&真空腔體 | · 特制MoSi2加熱元件,安裝保溫材料中 · 最高工作溫度 · 1300℃(連續(xù)工作3個(gè)月) · 1350℃(1 hr) · 加熱腔體固定在一個(gè)測開門的真空腔體中 · 工作氣體:所有惰性氣體和氧氣,不可通入可燃性氣體 · 真空度:10-2Torr(采用機(jī)械泵),10-5Torr(采用分子泵) · 為達(dá)到更好的氣氛控制,可選購本公司的氣體凈化系統(tǒng)(圖5)可將腔體內(nèi)的氧和水含量小于1PPM 圖1 圖2 圖3 圖4 圖5 |
溫控系統(tǒng) | ·采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,帶有超溫保護(hù)和斷熱電偶保護(hù) ·控溫精度+/- 1 oC ·RS485 通訊接口 ·設(shè)備中包含PC控制軟件和界面模塊 |
施力裝置 | ·壓力施加在推壓棒上,采用直流電機(jī) ·推桿恒定移動速度,可通過一步進(jìn)電機(jī)推動,最大2000N ·下壓速度:0.02—60mm/min (可調(diào)) ·力學(xué)傳感器精度:+/- 0.2 N ·位移傳感器精度:+/-1um |
控制界面 | ·一個(gè)筆記本電腦,安裝有控制元件,用于設(shè)置工作溫度和下壓速度 ·一臺電腦可同時(shí)控制4臺設(shè)備 ·電腦顯示和記錄樣品在設(shè)定溫度和下壓速度下的壓力與位移曲線 |
設(shè)備尺寸 | |
可選 | ·多臺機(jī)器通過一個(gè)PC軟件控制,實(shí)現(xiàn)高通量實(shí)驗(yàn)測試 ·可選購裝置和PC軟件,來測試樣品高溫硬度 |
質(zhì)保期 | ·一年質(zhì)保期,終身維護(hù)(不包含加熱元件,SiC固定裝置和鉬推壓桿) |
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