腔體 | ·304不銹鋼制造,并配備有加強筋 ·內(nèi)部尺寸:470mm L×445mm D×522mm H ·配備φ380 mm 密封門,配備150 mm玻璃觀察窗 ·采用硅膠O型密封圈 ·工作溫度范圍: -15 to 150°C |
真空/壓力 | ·E-3 torr 使用機械泵,具體型號請點擊 ·4E-5使用分子泵,具體型號請點擊 |
接口/配套裝置 | ·在腔體的右側(cè)安裝有一個KF40接口,用于連接真空泵 ·共計4個KF25接口,三個在腔體右側(cè)一個在左側(cè) ·共計三個用于充放氣的真閥,兩個在在腔體后面,一個在左側(cè) ·頂部蓋板可以開啟,用于連接客戶定制的設(shè)備 ·接口與閥門可以按照客戶的要求進行定制 |
應(yīng)用 | ·磁控濺射腔體: 一個完整的磁控濺射系統(tǒng)包含:1個真空腔體,磁控濺射靶頭,濺射電源(DC or RF),真空泵系統(tǒng)(機械泵或者分子泵),水冷系統(tǒng)。 圖示為一個使用真空腔體搭建的完成磁控濺射系統(tǒng)(DC/RF可切換) 此真空腔體可以安裝單個或者多個濺射靶頭。最多安裝3個2"靶頭或5個1"靶頭。 如果您有定制需求,請聯(lián)系我們對靶頭匹配等事宜進行討論,我們可以在真空腔體上根據(jù)您的需求安裝好靶頭。 |
應(yīng)用案例 | ·可安裝3個2"靶頭或5個1"靶頭 |
可選 | ·請點擊圖1選擇通用的真空配件,點擊圖2選擇可以擺放此腔體的真空泵系統(tǒng)點擊 圖3選擇相關(guān)磁控濺射配件 |
尺寸 | |
質(zhì)保 | ·質(zhì)保一年 |
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