| 設備名稱型號 | 粉末磁控濺射儀 VTC-16-SM-PW |
| 產(chǎn)品特點 | · 可對粉體材料進行表面包覆：采用磁控濺射，濺射時粉體材料在振動樣品臺上翻滾，達到粉體表面均勻包覆； · 設備小巧可在手套箱內(nèi)使用（需訂貨時說明另配KF40饋通），可處理對氧敏感性材料 · 可抽真空、通氣氛 · PLC集成的控制系統(tǒng) · 標配石英腔室、等離子磁控濺射靶頭，靶材濺射擋板 |
| 基本參數(shù) | · 電源：AC 220V 50/60Hz · 濺射電流：0-130mA · 功率：＜1KW · 輸出電壓：DC 700V · 濺射時間：＜15min |
| 磁控濺射頭 | · 2英寸磁控濺射頭（帶有水冷夾層），另有1英寸靶頭可選； · 采用快速接頭與真空腔體相連接。
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| 靶材 | · 適合濺射金、銀、鋁、銅等金屬，對基片的損傷和基片溫升比較少 · 標配一塊銅靶，φ2″*3mm · 靶材尺寸要求：φ2″×（0.1-5）mm厚度 |
| 濺射腔體 | · 腔室尺寸：外徑166mm×內(nèi)徑150mm×高290mm，采用高純石英制作； · 密封法蘭: 采用金屬鋁制作，氟膠密封圈密封； · 法蘭蓋上安裝了一個可手動操作的擋板，用于靶材的預濺射。一個φ6.35的卡套接頭為進氣口，用于連接進氣管。一個手動放氣閥用于往石英腔體內(nèi)部充入空氣。 ·一個不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個石英腔體，以屏蔽等離子體。 · 通過調(diào)節(jié)殼體右側的微量精密調(diào)節(jié)閥控制進入石英腔體內(nèi)部工作氣體的流量，從而達到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)部的真空度
· 通過調(diào)節(jié)殼體右側的電位器，實現(xiàn)對濺射電流大小的控制。
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| 振動樣品臺 | · 震動樣品臺安裝在真空腔體底部 · 尺寸：直徑Φ2”(50.8mm) · 震動電機轉(zhuǎn)速：400-3000r/min可調(diào) · 震動電機每次工作時間 ≤15min（＜2000r/min），＜10min（2000-3000r/min） · 樣品臺每次濺射最大粉末量：2g（氧化鋁粉） · 粉末顆粒度范圍：在1μm和1mm之間 |
| 控制面板 | · 4″PLC集成觸摸屏控制面板，可顯示真空、電流、樣品濺射時間等，數(shù)據(jù)記錄功能可以記錄每次濺射的真空度、電流和濺射時間等工藝參數(shù)，方便客戶進行查詢。
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| 皮拉尼真空計 | · 設備標配一個皮拉尼真空計 · 測量范圍：1*10-4 mbar—1000 mbar（1*10-4—750 torr） · 準確度：1000mbar—20 mbar（讀數(shù)的30%） · 重復性：20—0.002mbar （讀數(shù)的2%） · 使用濕度：30℃環(huán)境下≤80% 40℃環(huán)境下≤50%無冷凝氣體； · 使用溫度：5℃—60℃ · 可選配精度更高的數(shù)顯防腐真空計
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| 真空系統(tǒng)（選配） | · 型號：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機功率：370 W · 極限壓強：5×10-1Pa（不帶負載） · 實際壓強：≤5 Pa（冷態(tài)下機械泵抽20分鐘） · 如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購國產(chǎn)或進口高真空機組
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| 水冷設備（選配） | · 型號：KJ-5000 · 工作電流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 尺寸：55×28×43cm（長×寬×高） · 水箱容量：6L · 水流速率：16L/min
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| 設備外形尺寸 | ·600mm（長）*370mm（寬）*830mm（高） |
| 重量 | 約30KG |
| 質(zhì)保 | 一年質(zhì)保期，終身維護（不包密封圈等損耗件） |
注意事項
· 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對氣壓）；
· 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全；
· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶工藝原因確實需要使用易燃易爆和有毒氣體，請客戶自行做好相關防護和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關問題，本公司概不負責。
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