| 設(shè)備名稱型號 | 真空系統(tǒng) GZK-103D（愛德華泵） |
| 產(chǎn)品特點 | · 600*600mm的承重臺面，可配合科晶管式爐使用，節(jié)約空間 · 內(nèi)部含有英國制造的愛德華真空泵，極限真空度可達1E-7mbar · 一鍵操作，簡單方便 · 滾輪上裝有制動裝置，提高了安全性 |
| 基本參數(shù) | · 電源：185 – 265 VAC 50HZ · 功率：310W · 極限真空度：＜1E-7mbar（配合本公司管式爐使用可達1E-5mbar） · 啟動時間：2min · 抽氣速率：N2:33 L/s、He:39 L/s、H2:32 L/s |
| 控制面板 | · 分子泵控制面板：LCD數(shù)字顯示 · 一鍵操作：按下“start”鍵后，機械泵和分子泵將會啟動（機械泵先啟動，待真空度達到10-2mbar后，分子泵自動啟動） · 系統(tǒng)控制旋轉(zhuǎn)速率：根據(jù)腔體內(nèi)的真空度，系統(tǒng)自動控制泵旋片的旋轉(zhuǎn)速率。 |
| 設(shè)備外形尺寸 | 600mm（L）*600mm（W）*700mm（H）
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| 重量 | 約60KG |
| 質(zhì)保 | 一年保質(zhì)期，終身維護 |
注意事項 | · 開機前一定要確認(rèn)進氣管道連接密封性能良好，沒有漏氣點，可通過氦氣檢漏儀進行側(cè)漏。否則分子泵會無法正常啟動，速度無法達到100%，或者顯示“error41” · 泵在正常運行中，不可進行斷電操作，更不可以插拔任何電纜以及信號線。避免電路產(chǎn)生電弧而造成故障。 · 定期對泵的進氣管路進行點檢，最好做檢漏測試，防止密封性不好導(dǎo)致真空不好，甚至造成真空泵故障。 · 有任何問題可聯(lián)系公司工作人員尋求幫助。 |
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