| 設(shè)備名稱(chēng)與型號(hào) | 三靶等離子濺射鍍膜儀 VTC-16-3HD |
| 主要參數(shù) | · 輸入電源： AC 220V 50/60HZ · 濺射電流：0-40mA可調(diào) · 功率：＜1KW · 輸出電壓：最大1680V DC |
| 濺射腔體 | · 材質(zhì)：采用石英材質(zhì)作為腔體 · 尺寸：OD166mm*ID150mm*150mm · 密封：采用O型圈密封 · 法蘭蓋上安裝了一個(gè)可手動(dòng)操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射。一個(gè)φ6.35的卡套接頭為進(jìn)氣口，用于連接進(jìn)氣管。一個(gè)手動(dòng)放氣閥用于往石英腔體內(nèi)部充入空氣。 ·一個(gè)不銹鋼網(wǎng)罩罩住整個(gè)石英腔體，以屏蔽等離子體。
· 通過(guò)調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的微量精密調(diào)節(jié)閥控制進(jìn)入石英腔體內(nèi)部工作氣體的流量，從而達(dá)到調(diào)節(jié)腔體內(nèi)部的真空度 · 通過(guò)調(diào)節(jié)殼體右側(cè)的電位器，實(shí)現(xiàn)對(duì)濺射電流大小的控制。
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| 靶材 | · 標(biāo)配三塊銅靶材 · 靶材尺寸要求：φ47*（0.1-3）mm厚度 · 可在我公司選購(gòu)其他金屬靶材，詳細(xì)請(qǐng)咨詢(xún)銷(xiāo)售部門(mén) · 安裝有一可手動(dòng)操作的擋板，用于靶材的預(yù)濺射。 |
| 樣品臺(tái) | · 一個(gè)φ50mm的可旋轉(zhuǎn)的樣品臺(tái)，樣品臺(tái)支撐柱上有固定螺絲，擰松螺絲即可調(diào)整樣品臺(tái)的高度； · 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)角度:0/120/240度； · 靶材和樣品臺(tái)之間的距離為20-70mm可調(diào)；
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| 控制面板 | · 4″PLC集成觸摸屏控制面板，可控制真空、電流、樣品濺射時(shí)間
· 數(shù)據(jù)記錄功能可以記錄每次濺射的真空度、電流和濺射時(shí)間等工藝參數(shù)，方便客戶(hù)進(jìn)行查詢(xún) |
| 真空系統(tǒng)（選配） | · 型號(hào)：VRD-8 · 抽氣速率：2.2 L/S · 電機(jī)功率：370 W · 極限壓強(qiáng)：5×10-1Pa（不帶負(fù)載） · 實(shí)際壓強(qiáng)：≤5 Pa（冷態(tài)下機(jī)械泵抽20分鐘） · 如果想要獲得更高的真空度（10-5toor or better）可選購(gòu)國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組
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| 質(zhì)保和質(zhì)量認(rèn)證 | · 一年質(zhì)保期，終生維護(hù) · CE認(rèn)證 |
| 外形尺寸 | 460*400*500mm（長(zhǎng)*寬*高） |
| 重量 | 約20KG |
| 使用提示 | · 為了達(dá)到理想的薄膜厚度，需要多次濺射鍍膜 · 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、樣品和樣品臺(tái)的潔凈 · 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面，可選購(gòu)本公司的清洗設(shè)備進(jìn)行清潔 · 此款設(shè)備可放入手套箱中濺射（Ar或N2氣氛環(huán)境） |
注意事項(xiàng) | · 腔室內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa（相對(duì)氣壓）； · 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向石英管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全； · 我們不建議客戶(hù)使用易燃易爆和有毒的氣體，如果客戶(hù)工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體，請(qǐng)客戶(hù)自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題，本公司概不負(fù)責(zé)。 |
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