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小型真空平板熱壓機(jī) (50x50mm, 500℃ ,500Kg)
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500℃ 、上下壓板尺寸小、壓力控制精確
型號(hào):
VHP-5000N-2
產(chǎn)品概述:
VHP-5000N-2是一款小型化的平板式真空熱壓機(jī),針對(duì)于晶片的焊接或薄膜轉(zhuǎn)移,其可處理最大樣品尺寸為50mm?x?50mmx15mm。設(shè)備優(yōu)越的性能非常適合于第三代半導(dǎo)體器件的燒結(jié)鍵合研究,儀器最高工作溫度為500℃,最大壓力為5000N。完全滿足于半導(dǎo)體器件制備過(guò)程中的封裝互聯(lián)材料的封裝互聯(lián)工藝所需,可提供的真空與氣氛環(huán)境可以盡可能的減少材料的氧化,是極具性價(jià)比的實(shí)驗(yàn)室研發(fā)設(shè)備。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
電源

· 總功率:500W

· 電源:208 - 240VAC, 50/60 Hz 單相


設(shè)備特點(diǎn)

·設(shè)備小型化(特效);有效節(jié)約實(shí)驗(yàn)室空間。
·半導(dǎo)體封裝互聯(lián)材料制備(特效);適用于晶片焊接、薄膜轉(zhuǎn)移及第三代半導(dǎo)體器件的鍵合研究。
·最大壓力5000N;精確控壓。
·可以真空及氣氛燒結(jié)。
·熱壓最高溫度500度。

上下平板熱壓系統(tǒng)

· 上下加熱平臺(tái)都安裝在真空腔體內(nèi);

· 上下加熱平臺(tái)在冷態(tài)下的平面度為≤0.005mm;

· 兩塊50mm x50mm加熱平臺(tái),采用耐熱不銹鋼制成,最高可承受溫度為500℃(<30min);

· 可放入樣品最大尺寸為:50*50*15mm;

· 上下各一塊200W的加熱平臺(tái),以達(dá)到快速加熱的效果;

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· 兩個(gè)精密的溫控系統(tǒng)可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為+/1℃,500度恒溫時(shí)的溫度波動(dòng)+/3℃,分別獨(dú)立控制兩個(gè)加熱平臺(tái)。

· 溫控系統(tǒng)采用PID方式進(jìn)行溫度調(diào)節(jié),并帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)。最高工作溫度為500℃(<30 min)

· 連續(xù)工作溫度:450℃

· 最快升溫速率:10℃/min

· 可選購(gòu)軟件和PC接口安裝在控溫儀表上,可將溫度程序和溫度曲線導(dǎo)入到電腦中。

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· 在上加熱平臺(tái)上部和下加熱平臺(tái)下部,各安裝有一塊水冷板,用于實(shí)現(xiàn)高溫加熱時(shí)起到冷卻作用。


壓力控制系統(tǒng)

· 最大壓力:500Kg(5000N)(500℃溫度狀態(tài)下)

· 壓力控制系統(tǒng)配置電動(dòng)無(wú)油壓機(jī)

· 無(wú)油壓機(jī)行程為 30 mm;

· 壓機(jī)帶手動(dòng)和自動(dòng)兩種工作模式;

· 在自動(dòng)加壓模式下,帶自動(dòng)恒壓功能,恒壓精度:±1Kg(±10N)

· 壓力顯示范圍:1-500 Kg

· 壓力控制范圍:10-500 Kg(可調(diào))

· 恒壓時(shí)間設(shè)定范圍:1—9999min(可調(diào))


真空腔體

· 真空腔體采用304不銹鋼制作,并焊接有加強(qiáng)筋(防止真空狀態(tài)下腔體變形)。

· 真空度<5*10E-2 torr(冷態(tài)下,VRD-8真空泵抽30min)

· 一個(gè)機(jī)械真空壓力表安裝在真空腔體上,測(cè)量?jī)?nèi)部的真空度,壓力表范圍-0.1-0.15MPa;可選配安裝數(shù)顯壓力表

· 一個(gè)φ6.35的卡套接頭作為進(jìn)氣口使用,并通過(guò)一個(gè)不銹鋼針閥控制進(jìn)氣的通斷

· 一個(gè)4英寸的觀察窗口用于觀察物料形態(tài)

· 一個(gè)KF25接口用于連接真空系統(tǒng),且多預(yù)留了一個(gè)KF16接口

· 腔體背面的兩個(gè)φ12mm的水管接口用于水冷設(shè)備的進(jìn)出水管,KF50連接板上面的陶峰電極,用于在真空下連接上下加熱板和測(cè)溫?zé)犭娕季€;

圖片5.jpg 圖片6.jpg


真空系統(tǒng)(可選)

· 型號(hào):VRD-8

· 抽氣速率:2.2 L/S

· 電機(jī)功率:370 W

· 極限壓強(qiáng):5×10-1Pa(不帶負(fù)載)

· 為了得到更高的真空度,可以選購(gòu)我公司的其他高真空系統(tǒng) 

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水冷系統(tǒng)(選配)

· 型號(hào):KJ-5000

· 工作電壓:AC 220V 50HZ

· 工作電流:1.4-2.1A,制冷量:2361Btu/h

· 壓縮機(jī)功率:300W,水箱容量:6L

· 最大流量:16L/min,凈重:24 Kg

· 外形尺寸:550*280*430mm

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重量

約 43Kg


外形尺寸

主機(jī):200mm(L) x 130mm(W) x 700mm(H)

控制箱:340*300*140mm

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質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)





 

   注意事項(xiàng)

· 保持整個(gè)機(jī)器的清潔、定期清理。防止粉塵,最好將機(jī)器放在一個(gè)無(wú)粉塵的環(huán)境中工作。

· 開(kāi)機(jī)時(shí)如果上次壓機(jī)關(guān)機(jī)不在最低點(diǎn),機(jī)器會(huì)自動(dòng)復(fù)位到最低點(diǎn)。

· 取料時(shí)請(qǐng)佩戴防護(hù)手套,以防燙傷

· 腔體內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa;

· 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向腔體內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,為了確保安全,建議使用壓力低于0.2MPa,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全;

· 我們不建議客戶使用易燃易爆和有毒的氣體,如果客戶工藝原因確實(shí)需要使用易燃易爆和有毒氣體,請(qǐng)客戶自行做好相關(guān)防護(hù)和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒氣體而造成的相關(guān)問(wèn)題,本公司概不負(fù)責(zé)。


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