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高速自動(dòng)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）機(jī)（300mm底盤,配自動(dòng)送料器）
型號(hào)：
UNIPOL-1203
產(chǎn)品概述：
UNIPOL-1203化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)，適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù)， 整機(jī)研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕，配置自動(dòng)滴料器和精密磨拋控制儀，全自動(dòng)觸摸屏面板，從加工性能和速度上同時(shí)滿足晶圓等面型加工的需求。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
產(chǎn)品名稱

化學(xué)機(jī)械磨拋機(jī)—UNIPOL-1203
安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：設(shè)備配有上水口及下水口，需自行連接自來水及下排水

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：無

4、工作臺(tái)：尺寸800mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通風(fēng)裝置：不需要
主要特點(diǎn)

1、超平不銹鋼拋光盤（平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm）。

2、超精旋轉(zhuǎn)軸（托盤端跳小于0.01mm）。

3、設(shè)有兩個(gè)加工工位，可分別進(jìn)行控制。

4、配有全自動(dòng)控制觸摸屏面板，可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時(shí)間。

5、配置自動(dòng)滴料器，流量速率可視化調(diào)整，自動(dòng)研磨和拋光。

6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀，可調(diào)節(jié)壓力，修整面型，使磨拋更加方便快捷。

7、研磨部分采用防腐材料，耐化學(xué)腐蝕。
技術(shù)參數(shù)

? 主機(jī)部分：

1、電源:220V

2、功率:450W

3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm

4、磨拋工位:2個(gè)

5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔

6、托盤端跳:0.008/250mm

7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm

8、載樣盤:φ105mm

9、修盤環(huán):φ127.5mm


? GPC-100A精密磨拋控制儀：

1、載樣盤直徑：?103mm

2、載樣盤軸向行程：12mm

3、數(shù)顯表精度：0.001mm

4、載樣盤可調(diào)加載壓力：0.1kg-2.1kg

5、壓力確認(rèn)儀有效量程：1g-5000g

6、樣品裝卡方式：真空吸附

7、承載樣件尺寸：直徑≤103mm、 厚度≤12mm

8、尺寸：外徑146mm，高266mm


? 自動(dòng)滴料器：

  SKZD-2滾筒滴料器

1、容積：1.5L

2、流量：0-35ml/min

3、尺寸：170×290×350mm；

4、重量：3kg


  SKZD-4自動(dòng)滴料器

1、加液泵：4個(gè)

2、料液瓶：600ml/瓶

3、計(jì)時(shí)范圍：1-999min

4、流量：0.1ml/min-10ml/min

5、尺寸：230×370×450mm；

6、重量：10kg
產(chǎn)品規(guī)格

1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm

2、重量:74Kg
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