產(chǎn)品名稱 | · 1200℃小型坩堝移動管式爐 |
產(chǎn)品提示 | 1.多種配件可選提示 2.科晶實(shí)驗(yàn)室邀請?zhí)崾?/span> ? 3.配件妥善保管提示 |
產(chǎn)品特點(diǎn) | · 一個高熱傳導(dǎo)性的氧化鋁樣品托盤固(50mmLx25mmW)固定在K型熱電偶上,手動移動爐管外部磁鐵可推動熱偶和樣品盤在爐管內(nèi)移動,使樣品材料在所需的管內(nèi)溫度位置進(jìn)行蒸發(fā)或沉積。 · 一塊NIST認(rèn)證的精密溫度顯示儀表通過法蘭與熱偶連接,實(shí)時顯示樣品的溫度。 · 一塊磁鐵嵌入在爐管內(nèi)部的管堵內(nèi),另一塊磁鐵位于爐管外部。移動外部磁鐵可使熱偶和樣品盤在爐管內(nèi)移動。 · 設(shè)備中包含一石英坩堝,可用于放置蒸發(fā)材料或放置沉積基片。 · 最高溫度可達(dá)1200℃。 · 雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),可有效降低殼體表面溫度。 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。 |
基本參數(shù) | · 最高溫度: 1200℃(≤30min) 工作溫度: 1100℃ · 推薦升溫速率:≤10℃/min · 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金 · 電壓:220V · 額定功率:1.5KW · 加熱區(qū)長度:200mm(單溫區(qū)) |
爐管尺寸 | · 高純石英管50mm外徑x 1000mm長 |
真空法蘭 | · 配有一套304不銹鋼密封法蘭,采用硅膠密封圈密封。 · 不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝。 · 右端法蘭采用KF25接口用于連接真空泵和手動泄壓。 · 左端法蘭采用1/4英寸的卡套接頭,用于通入反應(yīng)氣體。 · 一個機(jī)械壓力表安裝在左端法蘭上,用于監(jiān)控管道壓力。 · 法蘭端提供多種接頭可選,具體請咨詢銷售。 |
溫控系統(tǒng) | · 采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置50段升降溫程序 · 溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護(hù) · 儀表控溫精度: +/- 1°C |
質(zhì)保期 | · 一年保修,終身技術(shù)支持。 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
應(yīng)用技術(shù)提示 | · 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。 · 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200sccm,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 · 石英管的長時間使用溫度<1100℃。 · 降溫時請利用程序降溫,不建議直接按“STOP”鍵降溫,設(shè)備溫度未降到室溫前不要直接關(guān)掉設(shè)備電源,防止出現(xiàn)安全問題。 |
警示 | · 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。 · 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 · 爐管不建議正壓使用,對于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。 · 滑動加熱室即可快速冷卻樣品。 如果要這樣做,請穿戴防護(hù)裝備,例如耐熱服和手套。 加熱時請勿觸摸管子表面。 · 如需高溫取樣,請務(wù)必穿戴好安全裝置. |
可選配件 | · 多種供氣系統(tǒng)可選。(圖1) · 建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。(請點(diǎn)擊這里學(xué)習(xí)如何安裝減壓閥)。(圖2) · 可選購壓力控制模塊來監(jiān)控并保持工作腔室壓力穩(wěn)定。(圖3) · 可選購歐陸儀型溫控儀表,控溫精度可以提升到±0.1℃。(圖4) · 可選購石英管堵,提高路管內(nèi)的潔凈度和幫助獲得高真空。(圖5) · 可選購石英舟盛放樣品。(圖6) 圖一 圖二 圖三 圖四 圖五 圖六 |
PC控制(選配) | · 請?jiān)谫徺I爐子前,準(zhǔn)備一臺電腦。 · 可選購MTS-02?控制軟件,可在電腦上顯示和設(shè)定壓力和溫度程序,以達(dá)到遠(yuǎn)程控制。 · 購買帶有PC控制的加熱爐,如有疑問請聯(lián)系我們的銷售人員。 |
真空配件(選配) | · 真空可選配件包括真空泵,波紋管和手動擋板閥。 · 對于易損耗件高溫硅膠O型密封圈除了標(biāo)配數(shù)量外可進(jìn)行額外訂購。 · 機(jī)械真空計(作為設(shè)備標(biāo)配),范圍從-0.1到0.15Mpa。 · 可選配防腐型數(shù)顯真空表,測量范圍為3.8×10E -5至1125 Torr之間。除了具有較高的精度和重復(fù)性及較短的響應(yīng)時間外,該儀表還降低了由于氣體類型依賴性而造成的氣壓讀數(shù)錯誤從而導(dǎo)致的腔室爆炸風(fēng)險。 |
真空泵組(選配) | 此設(shè)備也可以進(jìn)行抽真空,配合本公司生產(chǎn)的真空泵組 |
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