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Si+SiO2+TiO2+Pt 基片
產(chǎn)品概述:
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
技術(shù)參數(shù)

Si摻雜類(lèi)型:

N型不摻雜

P型摻B

電阻率:

>2000ohm.cm

 1-20 ohm.cm

薄膜厚度:

SiO2=300nm TiO2=20nmPt(111)=150nm

Maximum?Thermal Budget?of?Pt? film:

<800-850 degreeC/1hr


常規(guī)尺寸

dia4"+/- 0.5 mmx0.525 單拋;10x10mm

注:可按照客戶要求加工尺寸

標(biāo)準(zhǔn)包裝

1000級(jí)超凈室100級(jí)超凈袋真空包裝或單片盒裝

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