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ZnO +Au+Cr
產(chǎn)品概述:
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
技術(shù)參數(shù)

基底

Si<100> ,P型摻B4"x~525um,1sp

膜層

ZnO膜:c軸,晶向:<001>  ZnO = 150nm

Au膜:晶向:<111>  Au = 150nm

Cr(膠層)= 20-40nm

電阻率

1-10 ohm.cm

基材尺寸

4 0.5 mm x 0.5 mm

拋光情況

單拋

表面粗糙度

Ra<20 A RMS

 


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