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Si+SiO2+Ti+Pt <111>
- 關鍵字：
- dia2"進口薄膜
- 產品概述：
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技術參數(shù)產品視頻實驗案例警示/應用提示配件詳情
| 產品名稱
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Si上鍍SiO2+Ti+Pt
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| 薄膜參數(shù)
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Si參數(shù)： | P型，R;5-10ohm.cm | SiO2參數(shù)： | 300nm | Ti參數(shù)： | 10nm | Pt 參數(shù)： | 150nm | Pt薄膜最大熱預算： | < 700~750 degree C / 1 hr（Maximum Thermal Budget of Pt film) |
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| 常規(guī)尺寸
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dia2" ±0.5 mm x 0.279 mm、單拋
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| 數(shù)據(jù)圖
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| 標準包裝
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1000級超凈室100級超凈袋真空包裝或者單片盒裝
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