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GaN薄膜
- 產(chǎn)品概述:
- 氮化鎵Epitxial范本saphhire是提出了氫化物氣相外延(HVPE)的方法。在HVPE過程中,鹽酸反應(yīng)生成GaCl,而這又與氨反應(yīng)生成氮化鎵熔鎵。外延GaN的模板是成本效益的方法,以取代氮化鎵單晶基板。
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產(chǎn)品名稱
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氮化鎵(GaN)薄膜 |
產(chǎn)品簡介
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氮化鎵Epitxial范本saphhire是提出了氫化物氣相外延(HVPE)的方法。在HVPE過程中,鹽酸反應(yīng)生成GaCl,而這又與氨反應(yīng)生成氮化鎵熔鎵。外延GaN的模板是成本效益的方法,以取代氮化鎵單晶基板。 |
技術(shù)參數(shù)
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常規(guī)尺寸 | dia50.8±1mm x 4um,10-25um. dia100±1mm x 4um,10-25um. <0001>±1° N型 注:可按客戶需求定制特殊堵塞方向和尺寸。 | 產(chǎn)品定位 | C軸<0001>±1° | 傳導類型 | N型;半絕緣型;P型 | 電阻率 | R<0.05 Ohm-cm;半絕緣型R>106 Ohm-cm | 位錯密度 | <1x108 Cm-2 | 表面處理(鎵面) | AS Grown | 有效值 | <1nm | 可用表面積 | >90% |
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標準包裝
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1000級超凈室,100級超凈袋或單片盒封裝 |
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