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GaN薄膜
產(chǎn)品概述:
氮化鎵Epitxial范本saphhire是提出了氫化物氣相外延(HVPE)的方法。在HVPE過程中,鹽酸反應(yīng)生成GaCl,而這又與氨反應(yīng)生成氮化鎵熔鎵。外延GaN的模板是成本效益的方法,以取代氮化鎵單晶基板。
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產(chǎn)品名稱

氮化鎵(GaN)薄膜

產(chǎn)品簡介

氮化鎵Epitxial范本saphhire是提出了氫化物氣相外延(HVPE)的方法。在HVPE過程中,鹽酸反應(yīng)生成GaCl,而這又與氨反應(yīng)生成氮化鎵熔鎵。外延GaN的模板是成本效益的方法,以取代氮化鎵單晶基板。

技術(shù)參數(shù)

常規(guī)尺寸

dia50.8±1mm  x 4um,10-25um.

dia100±1mm  x 4um,10-25um. <0001>±1° N

注:可按客戶需求定制特殊堵塞方向和尺寸。

產(chǎn)品定位

C軸<0001>±1°

傳導類型

N型;半絕緣型;P型

電阻率

R<0.05 Ohm-cm;半絕緣型R>10Ohm-cm

位錯密度

<1x10Cm-2

表面處理(鎵面)

AS Grown

有效值

<1nm

可用表面積

>90%


標準包裝

1000級超凈室,100級超凈袋或單片盒封裝

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