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小型等離子清洗機(jī)
型號(hào):
PCE-6V
產(chǎn)品概述:
PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計(jì)算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。工作時(shí)外接一臺(tái)真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時(shí)間內(nèi)徹底清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。另外,其樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
主要特點(diǎn)

? 采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對(duì)被清洗物帶來(lái)的二次污染。

? 可短時(shí)間內(nèi)徹底清洗掉有機(jī)污染物。

? 清洗程度可達(dá)到分子級(jí)。

? 可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。

? 清洗過(guò)程中的輝光放電可對(duì)某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤(rùn)性,并可消毒和殺菌。

? 樣品臺(tái)可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實(shí)現(xiàn)離子蝕刻。

? 廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

參數(shù)

? 電壓:AC220V  10A

? 消耗功率:<500W(包括真空泵)

? RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz

? 腔體:Φ190mm×98mm

 PCE-6V.png

? 石英管:Φ180mm×55mm,壁厚7mm

? 內(nèi)腔:Φ165mm×55mm

? 清洗電極:Φ120mm

? 樣品臺(tái):Φ150mm,有效尺寸Φ140mm

? 樣品臺(tái)與電極間距:15mm-50mm可調(diào)

? 抽氣管:Φ12mm

? 極限真空度:0.1Pa

? 工作真空度:60Pa-500Pa

? 氣路數(shù)量:2路(選裝)

? 流量控制器數(shù)量:1、2

流量顯示儀:2通道

? 氣路接口:Φ6mm

? 加熱樣品臺(tái):Φ140mm,加熱樣品溫度RT-600℃±1℃(選裝)

? 冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa

? 工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對(duì)濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

可選配置

? 加熱樣品臺(tái)

? 流量控制器(量程10、50、100,最多可增加2個(gè)通道)

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附件

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