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技術(shù)參數(shù)產(chǎn)品視頻實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
| 產(chǎn)品名稱
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La 2 Zr 2 O 7薄膜
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| 制備方法
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溶膠-凝膠法
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| 襯底材料
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LaAlO3單晶或Ni（NiW)雙軸織構(gòu)基板
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| 常規(guī)參數(shù)
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Phi掃描測(cè)試半高<80
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| 常規(guī)膜厚
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20-150nm；注：尺寸可以按照客戶要求加工
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| 粗糙度
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原子力測(cè)試均方根粗糙度<15nm
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| 數(shù)據(jù)圖
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| 標(biāo)準(zhǔn)包裝
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1000級(jí)超凈室100級(jí)超凈袋
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