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AL2O3+GaN薄膜
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- P型摻Mg, R:3-5Ω-cm
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產(chǎn)品名稱
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Al2O3+GaN外延薄膜(Mg-doped?P-type?GaN?Epitaxial?Template?on?sapphire)
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技術(shù)參數(shù)
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Al2O3參數(shù): | c-Axis (0001) off angle 0.2O±0.1 @ M-plane,dia50.8 mm ± 0.25 mm,單拋 | GaN厚度: | 3.0 um +/- 10% | 電阻率: | 3- 5 Ω-cm | 載流子濃度: | 1x10^17 ~3x10^18/cm3 | 空穴遷移率: | 20cm-2/V | RMS: | <1nm | FWHM of RC for(002): | ~~350 arcsec | FWHM of RC for(102): | ~~450 arcse |
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標準包裝
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1000級超凈室100級超凈袋真空包裝和單片盒裝 |
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