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干法

冷等靜壓成型

① ITO粉按照比例放在高壓容器里面，冷等靜壓成形后，卸壓的時(shí)候利用 N 級(jí)卸壓保護(hù)，以此來(lái)保證靶材密度的均勻性，并且產(chǎn)生 ITO 薄膜。

② ITO粉中加入水、丙酮、無(wú)水乙醇，之后放入球磨罐中進(jìn)行球磨過(guò)篩操作，在剛磨具中預(yù)先干壓，最后再進(jìn)行冷等靜壓成形。

密度均勻

成本高、過(guò)程繁雜，對(duì)于一些形狀不規(guī)則以及尺寸較大的靶材會(huì)造成受力不均勻的情況，所以可能會(huì)出現(xiàn)靶材破裂造成工人中毒的情況

沖壓成型

① 將胚料放入磨具中，然后對(duì)磨具施加壓力，讓它產(chǎn)生形變，出現(xiàn)一定的外形和大小。

② ITO中加入聚乙烯醇，過(guò)篩后加入沖壓用的模具中，成型后進(jìn)行燒結(jié)。

可以制作出各種形狀的工件，尺寸大小也非常精準(zhǔn)，利用自動(dòng)化技術(shù)就可批量生產(chǎn)

再生產(chǎn)時(shí)靶材容易開(kāi)裂

模壓成型

① 將粉狀、顆粒狀、纖維狀等塑料加入到一定溫度下的模具中，然后對(duì)其施壓，讓磨具內(nèi)的塑料固化成以定形狀。

原料的利用率高，性能穩(wěn)定，尺寸也好掌握，生產(chǎn)效率高

密度低且分布的不均勻，從而導(dǎo)致在后續(xù)的濺射鍍膜時(shí)會(huì)出現(xiàn)結(jié)瘤，會(huì)減少產(chǎn)品的使用時(shí)長(zhǎng)

模壓成型+冷等靜壓工藝

① 將 ITO 粉末加入聚乙烯醇進(jìn)行造粒，得到球形的ITO顆粒倒入模具中，在液壓機(jī)上用 5-10MPa 壓力進(jìn)行壓制，得到粗坯。粗坯再放入冷等靜壓機(jī)中，在大于 150MPa 壓力下，得到更均勻、致密度更高的素坯。最后放入常壓氣氛燒結(jié)爐中進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)。

操作簡(jiǎn)便，密度均勻，密度高

受液壓機(jī)尺寸限制較大，生產(chǎn)超大尺寸靶材難度大

濕法

擠壓成型

① 將粉料、潤(rùn)滑劑以及粘合劑與水混合，之后將塑料放入磨具內(nèi)，施加壓力使物料成形。

操作簡(jiǎn)單

靶材的強(qiáng)度小，坯料容易出現(xiàn)裂紋表面會(huì)有凹坑

凝膠注模成型

① 將 ITO 原料與有機(jī)單體、有機(jī)分散劑、引發(fā)劑、膠聯(lián)劑以及水混合球磨，制作出懸浮液，在將懸浮液放入到磨具，產(chǎn)生凝膠反應(yīng)，得到坯體，干燥后進(jìn)行燒結(jié)。在上面的基礎(chǔ)上添加緩釋劑和增塑劑就可以制作大尺寸的靶材坯體。

② 在ITO原料中加入無(wú)毒的水溶性環(huán)氧樹(shù)脂作為成形劑，球磨后凝固，在進(jìn)行燒結(jié)。

操作便捷、成本低，添加物都是有機(jī)物，燒結(jié)后不會(huì)出現(xiàn)雜質(zhì)，制作出的靶材穩(wěn)定性高，均勻性好，另可制作出異形和尺寸較大的靶材

使用過(guò)多添加劑，易對(duì)環(huán)境造成污染

注漿成型

① 在 ITO 漿料中加入粘結(jié)劑、保濕劑、潤(rùn)滑劑和消泡劑球磨混合，倒入不銹鋼模具內(nèi)，脫模干燥后的生坯進(jìn)行燒結(jié)得到大尺寸的靶材。可以加入磷化物高密度促進(jìn)劑提高致密度。

② ITO本身難以燒結(jié)，所以需要加入砷、銻、鉍、硒、碲或硼等多種元素混合而成的專(zhuān)門(mén)助燒劑，在 10Mpa 的壓力下澆筑 30 分鐘再經(jīng)過(guò)干燥脫脂得到生坯。

成本低密度均勻

坯體易開(kāi)裂變形，自動(dòng)化程度低